国際・国内特許データベース検索
このアプリケーションの一部のコンテンツは現時点では利用できません。
このような状況が続く場合は、にお問い合わせくださいフィードバック & お問い合わせ
1. (WO2015141437) 熱式質量流量計及びこれを用いた質量流量制御装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2015/141437 国際出願番号: PCT/JP2015/055694
国際公開日: 24.09.2015 国際出願日: 26.02.2015
IPC:
G01F 1/684 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
F
体積,体積流量,質量流量,または液位の測定;体積による測定
1
流体が連続流で計器を通過するときの流体もしくは流動性固体の体積流量または質量流量の測定流体が連続流で計器を通過するときの流体もしくは流動性固体の体積流量または質量流量の測定(体積流量の比例の測定G01F5/00
68
熱的効果を使用するもの
684
構造配置;素子の取付け,例.流体流量に関連しているもの
出願人:
日立金属株式会社 HITACHI METALS, LTD. [JP/JP]; 東京都港区港南一丁目2番70号 2-70, Konan 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1088224, JP
発明者:
石井 守 ISHII Mamoru; JP
代理人:
特許業務法人プロスペック特許事務所 PROSPEC PATENT FIRM; 愛知県名古屋市中村区太閤三丁目1番18号 名古屋KSビル12階 12th Floor, NAGOYA-KS Building, 1-18, Taiko 3-chome, Nakamura-ku, Nagoya-shi, Aichi 4530801, JP
優先権情報:
2014-05817020.03.2014JP
発明の名称: (EN) THERMAL MASS-FLOW METER AND MASS-FLOW CONTROL DEVICE USING SAME
(FR) DÉBITMÈTRE MASSIQUE THERMIQUE ET DISPOSITIF DE RÉGULATION DE DÉBIT MASSIQUE L'UTILISANT
(JA) 熱式質量流量計及びこれを用いた質量流量制御装置
要約:
(EN) [Problem] To provide a thermal mass-flow meter in which, even when working with a condensing gas that needs to be heated to 250°C, said gas does not re-liquefy or condense inside a sensor tube. Also, to provide a mass-flow control device using said thermal mass-flow meter. [Solution] This thermal mass-flow meter, which has a case that contains a sensor tube and a sensor wire and is provided so as to contact a mounting surface of a base, is provided with a heat-transfer block that comprises a good conductor of heat and is in surface contact with both the mounting surface of the base and a side surface of the case. In a preferred embodiment, a temperature-regulating block provided so as to contact a side surface of the base is also provided.
(FR) [Problème] L'invention a pour objet de réaliser un débitmètre massique thermique caractérisé en ce que, même lorsqu'il fonctionne avec un gaz se condensant qui doit être chauffé jusqu'à 250°C, ledit gaz ne se liquéfie pas à nouveau et ne se condense pas à l'intérieur d'un tube de capteur. L'invention a également pour objet de réaliser un dispositif de régulation de débit massique utilisant ledit débitmètre massique thermique. [Solution] Le présent débitmètre massique thermique, qui est doté d'un boîtier contenant un tube de capteur et un fil de capteur et placé de façon à être en contact avec une surface de montage d'une embase, est muni d'un bloc de transfert de chaleur qui comporte un bon conducteur de la chaleur et est en contact surfacique à la fois avec la surface de montage de l'embase et une surface latérale du boîtier. Dans un mode de réalisation préféré, l'invention concerne également un bloc régulateur de température placé de façon à être en contact avec une surface latérale de l'embase.
(JA) 【課題】 250℃に加熱することが必要な凝結性のガスを取り扱う場合であっても、センサチューブの内部でガスが再液化又は凝結しない熱式質量流量計及びこれを用いた質量流量制御装置を提供すること。 【解決手段】 ベースの設置面に接して設けられ、センサチューブ及びセンサワイヤを収容するケースを有する熱式質量流量計において、ベースの設置面及びケースの側面とそれぞれ面接触をしている熱の良導体でなる伝熱ブロックを設ける。好ましい実施の形態においては、ベースの側面に接して設けられた温度調節ブロックをさらに設ける。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
CN106104222JPWO2015141437US20170131127KR1020160134675