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1. (WO2015141385) 剥離方法、接着剤層付支持基板および剥離装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2015/141385 国際出願番号: PCT/JP2015/054792
国際公開日: 24.09.2015 国際出願日: 20.02.2015
IPC:
H01L 21/683 (2006.01) ,B65H 41/00 (2006.01) ,H01L 21/02 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
683
支持または把持のためのもの
B 処理操作;運輸
65
運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い
H
薄板状または線条材料,例.シート,ウェブ,ケーブル,の取扱い
41
重合されているウエブを分離するための機械
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
出願人:
富士フイルム株式会社 FUJIFILM CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西麻布2丁目26番30号 26-30, Nishiazabu 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1068620, JP
発明者:
宮下 陽太 MIYASHITA, Yota; JP
祐谷 重徳 YUYA, Shigenori; JP
代理人:
飯田 敏三 IIDA, Toshizo; JP
優先権情報:
2014-05819120.03.2014JP
発明の名称: (EN) PEELING METHOD, SUPPORTING SUBSTRATE WITH ADHESIVE LAYER, AND PEELING APPARATUS
(FR) PROCÉDÉ DE PELAGE, SUBSTRAT DE SUPPORT AVEC UNE COUCHE ADHÉSIVE, ET APPAREIL DE PELAGE
(JA) 剥離方法、接着剤層付支持基板および剥離装置
要約:
(EN) Disclosed is a method for peeling, in synchronization with rotation of a roller, an elastic film adhered to a supporting substrate, while having the elastic film in close contact with a part of a surface of the roller. A first tensile force is applied to the elastic film, said first tensile force being applied in the roller rotation direction in which the elastic film is peeled, and at a position where the elastic film is peeled, a force is applied to the supporting substrate in the direction in which the elastic film is peeled, thereby applying a second tensile force to the elastic film.
(FR) L'invention concerne un procédé pour peler, en synchronisation avec la rotation d'un rouleau, un film élastique collé à un substrat de support, tout en ayant le film élastique en contact étroit avec une partie d'une surface du rouleau. Une première force de traction est appliquée au film élastique, ladite première force de traction étant appliquée dans la direction de rotation du rouleau dans laquelle le film élastique est pelé, et au niveau d'une position où le film élastique est pelé, une force est appliquée au substrat de support dans la direction dans laquelle le film élastique est pelé, ce qui permet d'appliquer une seconde force de traction au film élastique.
(JA)  支持基板に貼り合わせられた弾性体フイルムをローラーの表面の一部に密着させながらローラーの回転に同期させて剥離する方法であって、弾性体フイルムに第1張力を弾性体フイルムが剥離されるローラー回転方向に印加し、支持基板に弾性体フイルムが剥離する位置において弾性体フイルムが剥離されていく方向に力を印加することで、弾性体フイルムに第2張力を印加する剥離方法。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)