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1. (WO2015141384) 半導体装置及び半導体装置の製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2015/141384 国際出願番号: PCT/JP2015/054784
国際公開日: 24.09.2015 国際出願日: 20.02.2015
IPC:
H01L 23/36 (2006.01) ,H01L 23/12 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
23
半導体または他の固体装置の細部
34
冷却,加熱,換気または温度補償用装置
36
冷却または加熱を容易にするための材料の選択または成形,例.ヒート・シンク
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
23
半導体または他の固体装置の細部
12
マウント,例.分離できない絶縁基板
出願人:
富士電機株式会社 FUJI ELECTRIC CO., LTD. [JP/JP]; 神奈川県川崎市川崎区田辺新田1番1号 1-1, Tanabeshinden, Kawasaki-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2109530, JP
発明者:
齋藤 隆 SAITO Takashi; JP
加藤 遼一 KATO Ryoichi; JP
西村 芳孝 NISHIMURA Yoshitaka; JP
百瀬 文彦 MOMOSE Fumihiko; JP
代理人:
松井 茂 MATSUI Shigeru; JP
優先権情報:
2014-05922020.03.2014JP
発明の名称: (EN) SEMICONDUCTOR DEVICE AND SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) DISPOSITIF SEMI-CONDUCTEUR ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF SEMI-CONDUCTEUR
(JA) 半導体装置及び半導体装置の製造方法
要約:
(EN) The purpose of the present invention is to provide a semiconductor device in which not only the overall warpage of a metal plate bonded to a radiator but also a local warpage caused by bonding a plurality of insulating circuit boards are reduced and also provide a method for manufacturing the semiconductor device. In a semiconductor device in which a plurality of insulating circuit boards (21) are solder-bonded apart from each other on one surface of a metal plate (20), a first region (13) corresponding to the arrangement of the metal portion (26) of each of the insulating circuit boards (21) is provided on the surface opposite to the surface of the metal plate (20) on which the insulating circuit boards (21) are disposed, and a surface work hardened layer (11) is provided in at least a part of the first region (13). A local warpage caused by the difference between the thermal expansions of the insulating circuit boards (21) and the metal plate (20) is reduced by the compressive stress of the surface work hardened layer (11).
(FR) Le but de la présente invention est de fournir un dispositif semi-conducteur dans lequel non seulement la déformation globale d'une plaque métallique liée à un élément rayonnant mais également une déformation locale provoquée par liaison d'une pluralité de cartes de circuits imprimés isolantes sont réduites et de fournir également un procédé de fabrication du dispositif semi-conducteur. Dans un dispositif semi-conducteur dans lequel une pluralité de cartes de circuits imprimés isolantes (21) sont liées par soudure espacées les unes des autres sur une surface d'une plaque métallique (20), une première région (13) correspondant à l'agencement de la partie métallique (26) de chacune des cartes de circuits imprimés isolantes (21) est disposée sur la surface opposée à la surface de la plaque métallique (20) sur laquelle les cartes de circuits imprimés isolantes (21) sont disposées, et une couche durcie par travail en surface (11) est disposée dans au moins une partie de la première région (13). Une déformation locale provoquée par la différence entre les dilatations thermiques des cartes de circuits imprimés isolantes (21) et de la plaque métallique (20) est réduite par les contraintes de compression de la couche durcie par travail en surface (11).
(JA)  本発明の目的は、冷却器に接合される金属板全体の反りだけでなく、複数枚の絶縁回路基板を接合することによって生じる局部的な反りも低減された半導体装置及び半導体装置の製造方法を提供することである。 金属板20の片面に複数の絶縁回路基板21が互いに離間してはんだ接合された半導体装置において、金属板20の絶縁回路基板21を配置した面とは反対側の面に、絶縁回路基板21を金属部26の配置に対応する第一領域13を備え、第一領域13の少なくとも一部に表面加工硬化層11を備えている。表面加工硬化層11の圧縮応力によって絶縁回路基板21と金属板20との熱膨張差による局所的な反りを低減する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
CN105612614US20160225688DE112015000153