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1. (WO2015141246) パージ装置とパージ方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2015/141246 国際出願番号: PCT/JP2015/050498
国際公開日: 24.09.2015 国際出願日: 09.01.2015
IPC:
H01L 21/677 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677
移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
出願人:
村田機械株式会社 MURATA MACHINERY, LTD. [JP/JP]; 京都府京都市南区吉祥院南落合町3番地 3, Minami Ochiai-cho, Kisshoin, Minami-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6018326, JP
発明者:
村田 正直 MURATA Masanao; JP
山路 孝 YAMAJI Takashi; JP
代理人:
塩入 明 SHIOIRI Akira; JP
優先権情報:
2014-05299717.03.2014JP
発明の名称: (EN) PURGE APPARATUS AND PURGE METHOD
(FR) APPAREIL DE PURGE ET PROCÉDÉ DE PURGE
(JA) パージ装置とパージ方法
要約:
(EN) The present invention prevents a nozzle from obstructing alignment of a container without using an actuator. In the cases where the nozzle comes into contact with the container before an aligning member comes into contact with the container, the container is guided by means of a guide surface of the nozzle, and at the same time, the aligning member and the container are brought into contact with each other by bringing down the nozzle by means of a load from the container, and the container is aligned by means of the aligning member, then a purge gas is injected to the container from the nozzle.
(FR) La présente invention empêche une buse de gêner l’alignement d’un conteneur sans obliger à utiliser un actionneur. Dans les cas où la buse vient en contact avec le conteneur avant qu’un élément d’alignement ne vienne en contact avec le conteneur, le conteneur est guidé au moyen d’une surface de guidage de la buse et, au même moment, l’élément d’alignement et le conteneur sont amenés en contact l’un avec l’autre par l’abaissement de la buse au moyen d’une charge provenant du conteneur, et le conteneur est aligné au moyen de l’élément d’alignement ; un gaz de purge est alors injecté dans le conteneur par la buse.
(JA)  アクチュエータを用いずに、ノズルが容器の位置決めを妨げないようにする。位置決め部材よりも先にノズルが容器に接触した際に、ノズルのガイド面により容器をガイドすると共に、容器からの荷重によりノズルを下降させて、位置決め部材と容器を接触させ、位置決め部材により容器を位置決めし、ノズルから容器にパージガスを注入する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
IL246131CN106068554US20160365266SG11201605453WEP3121845JPWO2015141246
KR1020160132104JP6136084