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1. (WO2015141122) ワーク保持装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2015/141122 国際出願番号: PCT/JP2015/000703
国際公開日: 24.09.2015 国際出願日: 17.02.2015
IPC:
H01L 21/677 (2006.01) ,B24B 41/06 (2012.01) ,B25J 15/06 (2006.01) ,H01L 21/304 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677
移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
B 処理操作;運輸
24
研削;研磨
B
研削または研磨するための機械,装置,または方法;研削面のドレッシングまたは正常化;研削剤,研磨剤,またはラッピング剤の供給
41
フレーム,ベッド,往復台,主軸台,などの研削機械または装置の構成部分
06
工作物支持具,例.調節可能な支持台
B 処理操作;運輸
25
手工具;可搬型動力工具;手工具用の柄;作業場設備;マニプレータ
J
マニプレータ;マニプレータ装置を持つ小室
15
把持部
06
真空または磁力把持装置をもつもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30
21/20~21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
302
表面の物理的性質または形状を変換するため,例.エッチング,ポリシング,切断
304
機械的処理,例.研摩,ポリシング,切断
出願人:
信越半導体株式会社 SHIN-ETSU HANDOTAI CO.,LTD. [JP/JP]; 東京都千代田区大手町二丁目2番1号 2-1, Ohtemachi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000004, JP
発明者:
安田 太一 YASUDA, Taichi; JP
榎本 辰男 ENOMOTO, Tatsuo; JP
代理人:
好宮 幹夫 YOSHIMIYA, Mikio; JP
優先権情報:
2014-05685219.03.2014JP
発明の名称: (EN) WORKPIECE HOLDING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE SUPPORT DE PIÈCE DE TRAVAIL
(JA) ワーク保持装置
要約:
(EN)  The present invention is a workpiece-holding device provided with: a rigid body having a ventilation hole; a vacuum-chucking pad for vacuum-holding a workpiece, the vacuum-chucking pad being bonded to the lower end surface of the rigid body and the vacuum-chucking pad having an opening that communicates with the ventilation hole; and an air control mechanism that communicates with the ventilation hole and suctions or discharges air from the ventilation hole to suction or discharge air from the opening, air being suctioned via the opening using the air control mechanism while the workpiece is kept in contact with the opening to vacuum-hold the workpiece to the pad, and air being discharged via the opening using the air control mechanism to detach the workpiece from said pad; wherein the workpiece-holding device is characterized in having a bulging part where at least a part of the surface of the vacuum-chucking pad that comes into contact with the workpiece bulges towards the workpiece as a result of air being fed by the air control mechanism via the ventilation hole when the workpiece is detached from the vacuum-chucking pad. Thereby provided is a workpiece-holding device that makes it possible to lessen the vacuum force between the workpiece and the vacuum-chucking pad when separating the workpiece from the vacuum-chucking pad, and ensure that the workpiece can be separated.
(FR)  La présente invention concerne un dispositif de support de pièce de travail, comprenant : un corps rigide muni d'un trou de ventilation; une plaquette de fixation par aspiration pour le maintien par aspiration d'une pièce de travail, la plaquette de fixation par aspiration étant fixée sur la surface d'extrémité inférieure du corps rigide et la plaquette de fixation par aspiration possédant une ouverture qui communique avec le trou de ventilation; et un mécanisme de commande d'air qui communique avec le trou de ventilation et aspire ou évacue l'air par le trou de ventilation pour aspirer ou évacuer l'air par l'ouverture, l'air étant aspiré via l'ouverture par le mécanisme de commande d'air tandis que la pièce de travail est maintenue en contact avec l'ouverture pour maintenir par aspiration la pièce de travail sur la plaquette, et l'air étant évacué via l'ouverture par le mécanisme de commande d'air pour détacher la pièce de travail de ladite plaquette; le dispositif de support de pièce de travail étant caractérisé en ce qu'il possède une partie bombée dans laquelle au moins une partie de la surface de la plaquette de fixation par aspiration qui vient en contact avec la pièce de travail est bombée vers la pièce de travail du fait de l'introduction d'air effectuée par le mécanisme de commande d'air via le trou de ventilation lorsque la pièce de travail est détachée de la plaquette de fixation par aspiration. L'invention concerne donc un dispositif de support de pièce de travail qui permet de réduire la force d'aspiration entre la pièce de travail et la plaquette de fixation par aspiration lors de la séparation de la pièce de travail de la plaquette de fixation par aspiration, et de garantir la bonne séparation de la pièce de travail.
(JA)  本発明は、通気孔を有する剛性体と、該剛性体の下端面に接着され通気孔に連通した開口部を有するワークを吸着し保持するための吸着パッドと、通気孔に連通し通気孔からエアーを吸引又は吐出することで開口部からエアーを吸引又は吐出するエアー制御機構とを具備し、開口部にワークを接触させながら、エアー制御機構で開口部からエアーを吸引することで吸着パッドにワークを吸着して保持し、開口部からエアーを吐出することで吸着パッドからワークを脱着するワーク保持装置であって、吸着パッドからワークを脱着する際に、エアー制御機構により通気孔からエアーが供給されることで吸着パッドのワークとの接触面の少なくとも一部がワーク側に膨らむ膨らみ部を有するものであることを特徴とするワーク保持装置である。これにより、ワークを吸着パッドから脱離する際、ワークと吸着パッド間の吸着力を弱め、確実にワークを脱離できるワーク保持装置が提供される。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
CN106068555SG11201607263VUS20170069523DE112015000945KR1020160134665