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1. (WO2015137270) 誘電体材料及び静電チャック装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2015/137270 国際出願番号: PCT/JP2015/056799
国際公開日: 17.09.2015 国際出願日: 09.03.2015
IPC:
C04B 35/111 (2006.01) ,H01B 3/00 (2006.01) ,H01B 17/64 (2006.01) ,H01L 21/3065 (2006.01) ,H01L 21/683 (2006.01)
C 化学;冶金
04
セメント;コンクリート;人造石;セラミックス;耐火物
B
石灰;マグネシア;スラグ;セメント;その組成物,例.モルタル,コンクリートまたは類似の建築材料;人造石;セラミックス;耐火物;天然石の処理
35
組成に特徴を持つ成形セラミック製品;セラミック組成;セラミック製品を製造するための無機化合物粉末の処理
01
酸化物を基とするもの
10
酸化アルミニウムを基とするもの
111
ファインセラミックス
H 電気
01
基本的電気素子
B
ケーブル;導体;絶縁体;導電性,絶縁性または誘導性特性に対する材料の選択
3
絶縁材料を特徴とする絶縁体または絶縁物体;絶縁性または誘電性特性に対する材料の選択
H 電気
01
基本的電気素子
B
ケーブル;導体;絶縁体;導電性,絶縁性または誘導性特性に対する材料の選択
17
形を特徴とする絶縁体または絶縁物体
56
絶縁物体
64
導電性混合物の挿入物または層を有するもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30
21/20~21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
302
表面の物理的性質または形状を変換するため,例.エッチング,ポリシング,切断
306
化学的または電気的処理,例.電解エッチング
3065
プラズマエッチング;反応性イオンエッチング
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
683
支持または把持のためのもの
出願人:
住友大阪セメント株式会社 SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD. [JP/JP]; 東京都千代田区六番町6番地28 6-28, Rokuban-cho, Chiyoda-ku, Tokyo 1028465, JP
発明者:
石塚 雅之 ISHIZUKA Masayuki; JP
長友 大朗 NAGATOMO Hiroaki; JP
代理人:
志賀 正武 SHIGA Masatake; JP
優先権情報:
2014-04681510.03.2014JP
発明の名称: (EN) DIELECTRIC MATERIAL AND ELECTROSTATIC CHUCKING DEVICE
(FR) MATÉRIAU DIÉLECTRIQUE ET DISPOSITIF DE SERRAGE ÉLECTROSTATIQUE
(JA) 誘電体材料及び静電チャック装置
要約:
(EN)  This dielectric material comprises a compound sintered compact in which electroconductive particles are dispersed in an insulating material, the dielectric constant thereof being 10 or greater at a frequency of 40 Hz, and the difference between the maximum and minimum values of the dielectric loss at a frequency of 1 MHz in the surface of the compound sintered compact being 0.002 or less.
(FR)  Matériau diélectrique comprenant un corps compact fritté composite dans lequel des particules électroconductrices sont dispersées dans un matériau isolant, la constante diélectrique de celui-ci étant supérieure ou égale à 10 à une fréquence de 40 Hz, et la différence entre les valeurs maximales et minimales de la perte diélectrique à une fréquence de 1 MHz dans la surface du corps compact fritté composite étant inférieure ou égale à 0,002.
(JA)  本発明の誘電体材料は、絶縁性材料中に導電性粒子を分散した複合焼結体からなる誘電体材料であり、周波数40Hzにおける誘電率は10以上、かつ、この複合焼結体の表面内にて周波数1MHzにおける誘電損失の最大値と最小値の差は0.002以下である。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
CN105980331US20170057875KR1020160131007