国際・国内特許データベース検索
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1. (WO2015137188) 基板処理装置
国内段階移行に関する情報(詳細)
官庁移行日国内番号国内ステータス
大韓民国 25.08.20161020167023329
中華人民共和国 07.09.2016201580012425.7Granted: 02.04.2019
アメリカ合衆国 12.09.201615125423Published: 06.04.2017
Granted: 16.10.2018