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1. (WO2015137159) 圧力センサ
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2015/137159 国際出願番号: PCT/JP2015/055845
国際公開日: 17.09.2015 国際出願日: 27.02.2015
IPC:
G01L 9/00 (2006.01) ,H01L 29/84 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
L
力,応力,トルク,仕事,機械的動力,機械的効率,または流体圧力の測定
9
電気的または磁気的感圧素子による流体または流動性固体の定常圧または準定常圧の測定;流体または流動性固体の定常圧または準定常圧の測定に用いられる機械的感圧素子の変位の電気的または磁気的手段による伝達または指示
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
29
整流,増幅,発振またはスイッチングに特に適用される半導体装置であり,少なくとも1つの電位障壁または表面障壁を有するもの;少なくとも1つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合空乏層またはキャリア集中層,を有するコンデンサーまたは抵抗器;半導体本体または電極の細部整流,増幅,発振またはスイッチングに特に適用される半導体装置であり,少なくとも1つの電位障壁または表面障壁を有するもの;少なくとも1つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合空乏層またはキャリア集中層,を有するコンデンサーまたは抵抗器;半導体本体または電極の細部(31/00~47/00,51/05が優先;半導体本体または電極以外の細部23/00;1つの共通基板内または上に形成された複数の固体構成部品からなる装置27/00
66
半導体装置の型
84
外からの機械的力,例.圧力,の変化によって制御可能なもの
出願人:
セイコーインスツル株式会社 SEIKO INSTRUMENTS INC. [JP/JP]; 千葉県千葉市美浜区中瀬1丁目8番地 8, Nakase 1-chome, Mihama-ku, Chiba-shi, Chiba 2618507, JP
国立大学法人東京大学 THE UNIVERSITY OF TOKYO [JP/JP]; 東京都文京区本郷七丁目3番1号 3-1, Hongo 7-chome, Bunkyo-ku, Tokyo 1138654, JP
発明者:
下山 勲 SHIMOYAMA Isao; JP
松本 潔 MATSUMOTO Kiyoshi; JP
高橋 英俊 TAKAHASHI Hidetoshi; JP
グェン ミン ジューン NGUYEN Minh-Dung; JP
内山 武 UCHIYAMA Takeshi; JP
大海 学 OUMI Manabu; JP
篠原 陽子 SHINOHARA Yoko; JP
代理人:
志賀 正武 SHIGA Masatake; JP
優先権情報:
2014-05055213.03.2014JP
発明の名称: (EN) PRESSURE SENSOR
(FR) DÉTECTEUR DE PRESSION
(JA) 圧力センサ
要約:
(EN) The present invention is a pressure sensor (1) for detecting pressure fluctuation, the pressure sensor being provided with a cantilever (4) that bends in accordance with the pressure difference between the inside and outside of a cavity in a sensor main body and a first gap (21), second gap (22), and third gap (23) that are formed at the proximal end (4a) of the cantilever. The first to third gaps electrically partition, in a second direction (X2) that is orthogonal to a first direction (X1) connecting the proximal end and the leading end (4b) of the cantilever in a planar view, the proximal end of the cantilever into a first support part (24) and second support part (25) and a first displacement detection part (26) and second displacement part (27). Between the first and second support parts, the first and second displacement detection parts detect displacement corresponding to the cantilever bending.
(FR) La présente invention concerne un capteur de pression (1) permettant de détecter une fluctuation de pression, le capteur de pression étant pourvu d'un porte-à-faux (4) qui fléchit en fonction de la différence de pression entre l'intérieur et l'extérieur d'une cavité dans un corps principal de capteur et un premier espace (21), un deuxième espace (22), et un troisième espace (23) qui sont formés au niveau de l'extrémité proximale (4a) du porte-à-faux. Les trois espaces séparent électriquement, dans une seconde direction (X2) qui est orthogonale à une première direction (X1) reliant l'extrémité proximale et l'extrémité avant (4b) du porte-à-faux dans une vue en plan, l'extrémité proximale du porte-à-faux en une première partie support (24) et une seconde partie support (25) et une première partie détection de déplacement (26) et une seconde partie détection de déplacement (27). Entre les première et seconde parties support, les première et seconde parties détection de déplacement détectent le déplacement correspondant à la flexion du porte-à-faux.
(JA)  本発明は、圧力変動を検出する圧力センサ(1)であって、センサ本体のキャビティの内部と外部との圧力差に応じて撓み変形するカンチレバー(4)と、カンチレバーの基端部(4a)に形成された第1ギャップ(21)、第2ギャップ(22)および第3ギャップ(23)とを備える。第1~第3ギャップは、カンチレバーの基端部を、平面視で基端部とカンチレバーの先端部(4b)とを結ぶ第1方向(X1)に直交する第2方向(X2)に、第1支持部(24)および第2支持部(25)と、第1変位検出部(26)および第2変位検出部(27)と、に電気的に区分する。第1および第2変位検出部は、第1および第2支持部の間でカンチレバーの撓み変形に応じた変位を検出する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
EP3118597US20170131168CN106062524