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1. (WO2015136857) 蒸着装置及びその制御方法、蒸着装置を用いた蒸着方法、及びデバイスの製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2015/136857 国際出願番号: PCT/JP2015/000886
国際公開日: 17.09.2015 国際出願日: 23.02.2015
IPC:
C23C 14/24 (2006.01) ,H01L 51/50 (2006.01) ,H05B 33/10 (2006.01)
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
14
被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
22
被覆の方法に特徴のあるもの
24
真空蒸着
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
51
能動部分として有機材料を用い,または能動部分として有機材料と他の材料との組み合わせを用いる固体装置;このような装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
50
光放出に特に適用されるもの,例.有機発光ダイオード(OLED)または高分子発光ダイオード(PLED)
H 電気
05
他に分類されない電気技術
B
電気加熱;他に分類されない電気照明
33
エレクトロルミネッセンス光源
10
エレクトロルミネッセンス光源の製造に特に適用する装置または方法
出願人:
株式会社JOLED JOLED INC. [JP/JP]; 東京都千代田区神田錦町三丁目23番地 23, Kandanishiki-cho 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010054, JP
発明者:
瀧口 明 TAKIGUCHI, Akira; null
代理人:
特許業務法人 ナカジマ知的財産綜合事務所 NAKAJIMA & ASSOCIATES IP FIRM; 大阪府大阪市北区豊崎三丁目2番1号淀川5番館6F 6F, Yodogawa 5-Bankan, 2-1, Toyosaki 3-chome, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5310072, JP
優先権情報:
2014-04802411.03.2014JP
発明の名称: (EN) DEPOSITION APPARATUS, METHOD FOR CONTROLLING SAME, DEPOSITION METHOD USING DEPOSITION APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) APPAREIL DE DÉPÔT, PROCÉDÉ DE COMMANDE DE CE DERNIER, PROCÉDÉ DE DÉPÔT UTILISANT L'APPAREIL DE DÉPÔT ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
(JA) 蒸着装置及びその制御方法、蒸着装置を用いた蒸着方法、及びデバイスの製造方法
要約:
(EN) This deposition apparatus that codeposits different deposition materials is provided with: a chamber having a subject on which deposition materials are to be deposited is disposed therein; a first deposition source that discharges vapor of a first deposition material toward the subject; a second deposition source that discharges vapor of a second deposition material toward the subject; a first heating unit that heats the first deposition material; a second heating unit that heats the second deposition material; and a heating control unit that controls the first heating unit and the second heating unit. The heating control unit is configured to control the first and second heating units such that temperature increase of the second deposition material starts a predetermined time later than temperature increase of the first deposition material.
(FR) L'invention porte sur un appareil de dépôt qui effectue un dépôt simultané de différents matériaux de dépôt, pourvu de : une chambre à l'intérieur de laquelle est disposé un sujet sur lequel des matériaux de dépôt doivent être déposés ; une première source de dépôt qui injecte de la vapeur d'un premier matériau de dépôt vers le sujet ; une seconde source de dépôt qui injecte un second matériau de dépôt en phase vapeur vers le sujet; une première unité de chauffage qui chauffe le premier matériau de dépôt ; une seconde unité de chauffage qui chauffe le second matériau de dépôt ; et une unité de commande de chauffage qui commande la première unité de chauffage et la seconde unité de chauffage. L'unité de commande de chauffage est conçue pour commander les première et seconde unités de chauffage de façon telle que l'augmentation de la température du second matériau de dépôt commence à un moment prédéfini ultérieur par rapport à l'augmentation de température du premier matériau de dépôt.
(JA) 異なる蒸着材料を共蒸着する蒸着装置であって、蒸着対象物が内設されるチャンバと、蒸着対象物に向けて第1蒸着材料の蒸気を吐出する第1蒸着源と、蒸着対象物に向けて第2蒸着材料の蒸気を吐出する第2蒸着源と、第1蒸着材料を加熱する第1加熱部と、第2蒸着材料を加熱する第2加熱部と、第1加熱部及び第2加熱部を制御する加熱制御部とを備え、加熱制御部は、第2蒸着材料の昇温が、第1蒸着材料の昇温よりも所定時間遅く開始されるように第1及び第2加熱部を制御可能に構成されている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
Also published as:
CN106103790US20170022605JPWO2015136857US20180298489