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1. (WO2015136635) 試料観察方法及び荷電粒子線装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2015/136635 国際出願番号: PCT/JP2014/056425
国際公開日: 17.09.2015 国際出願日: 12.03.2014
予備審査請求日: 17.06.2014
IPC:
H01J 37/20 (2006.01) ,H01J 37/317 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02
細部
20
物体または材料を支持しまたは位置づける手段;支持体に関連した隔膜壁またはレンズを調節する手段
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
30
物体の局所的な処理のための電子ビームまたはイオンビーム管
317
物体の特性をかえるためのものまたはその上に薄層を形成するためのもの,例.イオン注入
出願人:
株式会社日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
発明者:
森川 晃成 MORIKAWA Akinari; JP
代理人:
平木 祐輔 HIRAKI Yusuke; 東京都港区愛宕2丁目5番1号 愛宕グリーンヒルズMORIタワー32階 Atago Green Hills MORI Tower 32F, 5-1, Atago 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1056232, JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) SAMPLE OBSERVATION METHOD AND CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS
(FR) PROCÉDÉ D'OBSERVATION D'ÉCHANTILLON ET APPAREIL À FAISCEAUX DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 試料観察方法及び荷電粒子線装置
要約:
(EN) In order to provide an art of efficiently cooling a target area on a sample irrespective of a structure and a material of the sample, said target area being to be irradiated with charged particle beams, a substance (29), which has a high heat conductivity, and is liquid at a room temperature, is supplied to a target area (30) on a sample (3) or close to the target area, and the charged particle beams are radiated to the target area (30) after cooling (or coagulating) the substance (29) by means of a cooling member (20).
(FR) L'invention a pour objet de réaliser un mode de refroidissement efficace d'une zone cible sur un échantillon indépendamment d'une structure et d'un matériau de l'échantillon, ladite zone cible étant destinée à être irradiée par des faisceaux de particules chargées. Une substance (29), qui possède une forte conductivité thermique et qui est liquide à température ambiante, est délivrée à une zone cible (30) sur un échantillon (3) ou à proximité de la zone cible, et les faisceaux de particules chargées sont émis vers la zone cible (30) après refroidissement (ou coagulation) de la substance (29) au moyen d'un élément de refroidissement (20).
(JA) 試料の構造や材料によらず、荷電粒子線を照射する試料上の目的箇所を効率良く冷却できるようにする技術を提供する。このため、熱伝導率が高く常温時に液体である物質(29)を、試料(3)上の目的箇所(30)又はその近傍付近に供給し、冷却部材(20)による物質(29)の冷却後(又は凝固後)、荷電粒子線を目的箇所(30)に照射する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)