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1. (WO2015133427) 光学式温度センサ及び光学式温度センサの製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2015/133427 国際出願番号: PCT/JP2015/056058
国際公開日: 11.09.2015 国際出願日: 02.03.2015
IPC:
G01K 11/12 (2006.01) ,G01K 1/14 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
K
温度の測定;熱量の測定;他に分類されない感温素子
11
グループ3/00,5/00,7/00,または9/00に包含されない物理的または化学的変化に基づく温度測定
12
色または透明度の変化を利用するもの
G 物理学
01
測定;試験
K
温度の測定;熱量の測定;他に分類されない感温素子
1
特に温度計の特殊なタイプに適用されない温度計の細部
14
支持物;固定装置;特別な場所への温度計の装着
出願人:
東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 東京都港区赤坂五丁目3番1号 3-1, Akasaka 5-Chome, Minato-Ku, Tokyo 1076325, JP
発明者:
山本 能吏 YAMAMOTO, Takari; JP
山田 建一郎 YAMADA, Kenichiro; JP
山川 禎貴 YAMAKAWA, Yoshiki; JP
水摩 悠司 MIZUMA, Yuji; JP
谷口 浩一 TANIGUCHI, Hirokazu; JP
田平 昌俊 TABIRA, Masatoshi; JP
代理人:
伊東 忠重 ITOH, Tadashige; JP
優先権情報:
2014-04213704.03.2014JP
発明の名称: (EN) OPTICAL TEMPERATURE SENSOR AND METHOD FOR MANUFACTURING OPTICAL TEMPERATURE SENSOR
(FR) CAPTEUR DE TEMPÉRATURE OPTIQUE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN CAPTEUR DE TEMPÉRATURE OPTIQUE
(JA) 光学式温度センサ及び光学式温度センサの製造方法
要約:
(EN) Provided is an optical temperature sensor characterized by comprising: a temperature sensitive element the light transmission characteristic of which changes according to temperature; a hollow holding body which holds the temperature sensitive element; and an optical fiber which is provided in the holding body and disposed to face the temperature sensitive element at a position where the leading end surface thereof is a predetermined distance apart from the temperature sensitive element, and in that the temperature sensitive element allows light emitted from the leading end surface of the optical fiber to be incident thereon, allows the incident light to be transmitted therethrough, and allows reflected light obtained by the transmitted light being reflected by an object to be measured to be transmitted therethrough.
(FR) La présente invention concerne un capteur de température optique caractérisé en ce qu'il comprend : un élément sensible à la température dont la caractéristique de transmission de lumière change en fonction de la température; un corps de support creux qui tient l'élément sensible à la température; et une fibre optique qui est située dans le corps de support et disposée pour être tournée vers l'élément sensible à la température au niveau d'une position où sa surface d'extrémité avant est à une distance prédéfinie de l'élément sensible à la température, et en ce que l'élément sensible à la température permet que la lumière émise à la surface d'extrémité avant de la fibre optique soit incidente à celle-ci, permet que la lumière incidente soit transmise à travers celle-ci, et permet que la lumière réfléchie obtenue par la lumière transmise réfléchie par un objet à mesurer soit transmise à travers celle-ci.
(JA)  温度に応じて光透過特性が変化する温度感知素子と、前記温度感知素子を保持する、中空の保持体と、前記保持体の内部に設けられ、先端面が前記温度感知素子と所定の距離離隔された位置にて前記温度感知素子に対向して配置される光ファイバと、を有し、前記温度感知素子は、前記光ファイバの先端面から出射した光を入射し、入射した光を透過させ、透過した光が測定対象物により反射した反射光を透過させる、を有することを特徴とする光学式温度センサが提供される。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
US20160363486