国際・国内特許データベース検索
このアプリケーションの一部のコンテンツは現時点では利用できません。
このような状況が続く場合は、にお問い合わせくださいフィードバック & お問い合わせ
1. (WO2015133349) 温度測定装置、投光モジュール及び温度測定方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2015/133349 国際出願番号: PCT/JP2015/055462
国際公開日: 11.09.2015 国際出願日: 25.02.2015
IPC:
G01K 11/12 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
K
温度の測定;熱量の測定;他に分類されない感温素子
11
グループ3/00,5/00,7/00,または9/00に包含されない物理的または化学的変化に基づく温度測定
12
色または透明度の変化を利用するもの
出願人:
東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 東京都港区赤坂五丁目3番1号 3-1, Akasaka 5-Chome, Minato-Ku, Tokyo 1076325, JP
発明者:
山本 能吏 YAMAMOTO, Takari; JP
山田 建一郎 YAMADA, Kenichiro; JP
山中 進矢 YAMANAKA, Shinya; JP
代理人:
伊東 忠重 ITOH, Tadashige; JP
優先権情報:
2014-04213804.03.2014JP
発明の名称: (EN) TEMPERATURE MEASURING APPARATUS, PROJECTION MODULE, AND TEMPERATURE MEASURING METHOD
(FR) APPAREIL DE MESURE DE TEMPÉRATURE, MODULE DE PROJECTION, ET PROCÉDÉ DE MESURE DE TEMPÉRATURE
(JA) 温度測定装置、投光モジュール及び温度測定方法
要約:
(EN) Provided is a temperature measuring apparatus characterized in having: a projection unit, which projects light from a first light source that outputs measurement light having a first wavelength, and a second light source that outputs reference light having a second wavelength; a light receiving unit, which receives reflection light of the measurement light, and reflection light of the reference light, said measurement light and reference light having passed through a temperature sensing element having light transmission characteristics that change corresponding to temperature; a control unit that measures, on the basis of light quantities of the reflection light of the measurement light, and the reflection light of the reference light, a temperature sensed by means of the temperature sensing element, both said reflection light having been received by means of the light receiving unit; and a temperature adjusting unit that separately adjusts temperatures of the first light source and the second light source.
(FR) L'invention concerne un appareil de mesure de température, caractérisé en ce qu'il comporte : une unité de projection, qui projette la lumière à partir d'une première source de lumière qui délivre la lumière de mesure ayant une première longueur d'onde, et d'une seconde source de lumière qui délivre la lumière de référence ayant une seconde longueur d'onde ; une unité de réception de lumière, qui reçoit la lumière de réflexion de la lumière de mesure, et la lumière de réflexion de la lumière de référence, ladite lumière de mesure et ladite lumière de référence passant à travers un élément de détection de température ayant des caractéristiques de transmission de lumière qui changent en fonction de la température ; une unité de commande qui mesure, sur la base de quantités de lumière de la lumière de réflexion de la lumière de mesure, et de la lumière de réflexion de la lumière de référence, une température détectée au moyen de l'élément de détection de température, ladite lumière de réflexion ayant été reçue au moyen de l'unité de réception de lumière ; et une unité d'ajustement de température qui ajuste séparément des températures de la première source de lumière et la seconde source de lumière.
(JA)  第1の波長の測定光を出力する第1の光源と第2の波長の参照光を出力する第2の光源とから光を投光する投光部と、温度に応じて光透過特性が変化する温度感知素子を透過した前記測定光の反射光及び前記参照光の反射光を受光する受光部と、前記受光部により受光した前記測定光の反射光及び前記参照光の反射光の光量に基づき、前記温度感知素子により感知された温度を測定する制御部と、前記第1の光源及び前記第2の光源をそれぞれ別々に温調する温調部と、を有することを特徴とする温度測定装置が提供される。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
US20170176264