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1. (WO2015133101) 圧力センサ
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2015/133101 国際出願番号: PCT/JP2015/001017
国際公開日: 11.09.2015 国際出願日: 27.02.2015
IPC:
G01L 9/00 (2006.01) ,H01L 29/84 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
L
力,応力,トルク,仕事,機械的動力,機械的効率,または流体圧力の測定
9
電気的または磁気的感圧素子による流体または流動性固体の定常圧または準定常圧の測定;流体または流動性固体の定常圧または準定常圧の測定に用いられる機械的感圧素子の変位の電気的または磁気的手段による伝達または指示
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
29
整流,増幅,発振またはスイッチングに特に適用される半導体装置であり,少なくとも1つの電位障壁または表面障壁を有するもの;少なくとも1つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合空乏層またはキャリア集中層,を有するコンデンサーまたは抵抗器;半導体本体または電極の細部整流,増幅,発振またはスイッチングに特に適用される半導体装置であり,少なくとも1つの電位障壁または表面障壁を有するもの;少なくとも1つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合空乏層またはキャリア集中層,を有するコンデンサーまたは抵抗器;半導体本体または電極の細部(31/00~47/00,51/05が優先;半導体本体または電極以外の細部23/00;1つの共通基板内または上に形成された複数の固体構成部品からなる装置27/00
66
半導体装置の型
84
外からの機械的力,例.圧力,の変化によって制御可能なもの
出願人:
株式会社デンソー DENSO CORPORATION [JP/JP]; 愛知県刈谷市昭和町1丁目1番地 1-1, Showa-cho, Kariya-city, Aichi 4488661, JP
発明者:
大野 和幸 OONO, Kazuyuki; JP
代理人:
金 順姫 KIN, Junhi; JP
優先権情報:
2014-04048503.03.2014JP
発明の名称: (EN) PRESSURE SENSOR
(FR) CAPTEUR DE PRESSION
(JA) 圧力センサ
要約:
(EN) A pressure sensor is provided with: a first substrate (10) in which first and second diaphragm portions (15a, 15b) are formed on one surface side by first and second recessed portions (14a, 14b) in the other surface, respectively; first and second detection elements (16a, 16b) on the first and second diaphragm portions; a second substrate (30) which forms a first reference pressure chamber (40) with the one surface of the first substrate therebetween; a third substrate (50) which seals the second recessed portion to form a second reference pressure chamber (60); and a calculation device (90) which calculates an offset value from a difference between an inspection signal and a reference signal, and detects a measurement medium pressure on the basis of a difference between a detection signal and the offset value, the detection signal or the inspection signal that corresponds to a difference between the measurement medium pressure or a reference medium pressure in the first recessed portion and a first reference pressure being outputted from the first detection element, and the reference signal that corresponds to a difference between the first and second reference pressures being outputted from the second detection element (16b).
(FR) La présente invention concerne un capteur de pression pourvu : d'un premier substrat (10) dans lequel des première et seconde parties de diaphragme (15a, 15b) sont formées sur un côté de surface par des première et seconde parties évidées (14a, 14b) dans l'autre surface, respectivement ; de premier et second éléments de détection (16a, 16b) sur les première et seconde parties de diaphragme ; d'un deuxième substrat (30) qui forme une première chambre de pression de référence (40) avec la surface du premier substrat entre eux ; d'un troisième substrat (50) qui scelle la seconde partie évidée pour former une seconde chambre de pression de référence (60) ; et d'un dispositif de calcul (90) qui calcule une valeur de décalage à partir d'une différence entre un signal d'inspection et un signal de référence et détecte une pression du milieu de mesure en fonction d'une différence entre un signal de détection et la valeur de décalage, le signal de détection ou le signal d'inspection qui correspond à une différence entre la pression du milieu de mesure ou une pression de milieu de référence dans la première partie évidée et une première pression de référence étant délivré depuis le premier élément de détection et le signal de référence qui correspond à une différence entre les première et seconde pressions de référence étant délivré depuis le second élément de détection (16b).
(JA)  圧力センサは、他面の第1および第2凹部(14a、14b)により一面側に第1および第2ダイヤフラム部(15a、15b)が各々構成された第1基板(10)と、前記第1および第2ダイヤフラム部上の第1および第2検出素子(16a、16b)と、第1基準圧力室(40)を前記第1基板の一面との間に構成する第2基板(30)と、前記第2凹部を封止して第2基準圧力室(60)を構成する第3基板(50)と、前記第1凹部の測定媒体圧力または基準媒体圧力と第1基準圧力との差に応じた検出信号または検査信号が前記第1検出素子から各々出力され、前記第1と第2基準圧力の差に応じた基準信号が第2検出素子(16b)から出力され、前記検査信号と前記基準信号の差によりオフセット値を演算し、前記検出信号と前記オフセット値との差に基づいて前記測定媒体圧力を検出する演算装置(90)とを備えている。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
US20160334292DE112015001099