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1. (WO2015129446) 走査電子顕微鏡および画像生成方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2015/129446 国際出願番号: PCT/JP2015/053598
国際公開日: 03.09.2015 国際出願日: 10.02.2015
IPC:
H01J 37/16 (2006.01) ,H01J 37/18 (2006.01) ,H01J 37/28 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02
細部
16
うつわ;容器
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02
細部
18
真空封止
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
26
電子またはイオン顕微鏡;電子またはイオン回折管
28
走査ビームを有するもの
出願人:
株式会社日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
発明者:
河西 晋佐 KAWANISHI Shinsuke; JP
大南 祐介 OOMINAMI Yuusuke; JP
代理人:
平木 祐輔 HIRAKI Yusuke; JP
優先権情報:
2014-03613727.02.2014JP
発明の名称: (EN) ELECTRON SCANNING MICROSCOPE AND IMAGE GENERATION METHOD
(FR) MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE ET PROCÉDÉ DE GÉNÉRATION D'IMAGES
(JA) 走査電子顕微鏡および画像生成方法
要約:
(EN)  In a charged particle beam apparatus enabling observation at atmospheric pressure, an atmospheric pressure space having a specimen arranged therein and a vacuum space arranged on a charged particle optical system side are isolated from each other using an isolation film that transmits charged particle beams. This isolation film is extremely thin and is thus often broken. Therefore, the exchange frequency of the isolation film increases and there has been a problem of the degradation of convenience or an increase in the running costs due to exchange operations. In order to solve the problem, a scanning electron microscope is provided with an electron optical lens barrel (2), a chassis (7), and an isolation film (10). The electron optical lens barrel (2) radiates a primary electron beam onto a specimen (6). The chassis (7) is directly bonded to the inside of the electron optical lens barrel and has an inside that turns into a lower vacuum state than the inside of the electron optical lens barrel at least during the radiation of the primary electron beam. The isolation film (10) isolates a space in an atmospheric pressure atmosphere having a specimen (6) mounted therein and the inside of the chassis in a lower vacuum state, and transmits the primary charged particle beam.
(FR)  Dans un appareil à faisceaux de particules chargées permettant une observation à pression atmosphérique, un espace de pression atmosphérique à l'intérieur duquel est disposé un échantillon et un espace sous vide agencé du côté d'un système optique à particules chargées sont isolés l'un de l'autre à l'aide d'un film d'isolation qui transmet des faisceaux de particules chargées. Ce film d'isolation est extrêmement mince et est ainsi souvent rompu. Par conséquent, la fréquence de remplacement du film d'isolation augmente et se pose alors un problème de dégradation du côté pratique ou d'augmentation du coût de fonctionnement en raison des opérations de remplacement. Afin de résoudre le problème, un microscope électronique à balayage est pourvu d'un barillet de lentille optique électronique (2), d'un châssis (7), et d'un film d'isolation (10). Le barillet de lentille optique électronique (2) émet un faisceau électronique primaire sur un échantillon (6). Le châssis (7) est directement lié à la partie intérieure du barillet de lentille optique électronique et a une partie intérieure qui acquière un vide quantique inférieur à celui de la partie intérieure du barillet de lentille optique électronique au moins pendant le rayonnement du faisceau électronique primaire. Le film d'isolation (10) isole un espace dans une atmosphère à pression atmosphérique à l'intérieur duquel est monté un échantillon (6) et la partie intérieure du châssis dans un vide quantique inférieur, et transmet le faisceau primaire de particules chargées.
(JA)  大気圧下で観察可能な荷電粒子線装置においては、荷電粒子線を透過する隔膜を用いて、試料を配置する大気圧空間と荷電粒子光学系側の真空空間とを隔離する。この隔膜は非常に薄いため破損することが多い。このため、隔膜の交換頻度が増加し、交換作業による利便性の低下やランニングコストの増加といった問題が発生していた。当該課題を解決するために、走査電子顕微鏡は、一次電子線を試料(6)上に照射する電子光学鏡筒(2)と、電子光学鏡筒内部と直結され、少なくとも一次電子線の照射中に内部が前記電子光学鏡筒内部より低真空の状態にされる筐体(7)と、試料(6)が載置される大気圧雰囲気の空間と低真空状態の筺体内部とを隔離しかつ前記一次荷電粒子線を透過する隔膜(10)と、を備えることを特徴とする(図1参照)。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
KR1020160103034DE112015000280CN105940478US20160343538US20180122617