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1. (WO2015129342) 研磨用組成物
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2015/129342 国際出願番号: PCT/JP2015/051416
国際公開日: 03.09.2015 国際出願日: 20.01.2015
IPC:
C09K 3/14 (2006.01) ,B24B 37/00 (2012.01) ,H01L 21/304 (2006.01)
C 化学;冶金
09
染料;ペイント;つや出し剤;天然樹脂;接着剤;他に分類されない組成物;他に分類されない材料の応用
K
他に分類されない応用される物質;他に分類されない物質の応用
3
物質であって,他に分類されないもの
14
抗スリップ物質;研摩物質
B 処理操作;運輸
24
研削;研磨
B
研削または研磨するための機械,装置,または方法;研削面のドレッシングまたは正常化;研削剤,研磨剤,またはラッピング剤の供給
37
ラッピング機械または装置;附属装置
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30
21/20~21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
302
表面の物理的性質または形状を変換するため,例.エッチング,ポリシング,切断
304
機械的処理,例.研摩,ポリシング,切断
出願人:
株式会社フジミインコーポレーテッド FUJIMI INCORPORATED [JP/JP]; 愛知県清須市西枇杷島町地領二丁目1番地1 1-1, Chiryo 2-chome, Nishibiwajima-cho, Kiyosu-shi, Aichi 4528502, JP
発明者:
安井 晃仁 YASUI, Akihito; JP
代理人:
八田国際特許業務法人 HATTA & ASSOCIATES; 東京都千代田区二番町11番地9 ダイアパレス二番町 Dia Palace Nibancho, 11-9, Nibancho, Chiyoda-ku, Tokyo 1020084, JP
優先権情報:
2014-03579826.02.2014JP
発明の名称: (EN) POLISHING COMPOSITION
(FR) COMPOSITION DE POLISSAGE
(JA) 研磨用組成物
要約:
(EN) The present invention relates to a polishing composition used in applications in which a polishing object having a cobalt element-containing layer is polished, wherein the polishing composition contains a cobalt dissolution inhibitor and a pH-adjusting agent and has a pH of 4-12, and the cobalt dissolution inhibitor is at least one type of substance selected from among the group consisting of an organic compound having an ether bond, an organic compound having a hydroxyl group, an organic compound having a carboxyl group and having a molecular weight of 130 or higher, and salts thereof. The present invention provides a polishing composition capable of inhibiting dissolution of a cobalt element-containing layer when a polishing object having a cobalt element-containing layer is polished.
(FR) Cette invention concerne une composition de polissage utilisée dans des applications dans lesquelles un objet à polir comportant une couche contenant un élément de cobalt est polie, caractérisée en ce que la composition de polissage contient un inhibiteur de dissolution du cobalt et un agent d'ajustement du pH et a un pH de 4 à 12, et en ce que l'inhibiteur de dissolution du cobalt est au moins un type de substance choisi dans le groupe constitué par un composé organique ayant une liaison éther, un composé organique ayant un groupe hydroxyle, un composé organique ayant un groupe carboxyle et ayant un poids moléculaire de 130 ou plus, et leurs sels. Une composition de polissage selon l'invention capable d'inhiber la dissolution d'une couche contenant un élément de cobalt lorsqu'un objet à polir contient un élément de cobalt est poli est en outre décrite.
(JA)  本発明は、コバルト元素を含む層を有する研磨対象物を研磨する用途で使用される研磨用組成物であって、コバルト溶解抑制剤と、pH調整剤と、を含み、pHが4以上12以下であり、前記コバルト溶解抑制剤は、エーテル結合を有する有機化合物、ヒドロキシ基を有する有機化合物、カルボキシル基を有すると共に分子量が130以上の有機化合物、およびこれらの塩からなる群より選択される少なくとも1種である、研磨用組成物に関する。本発明によれば、コバルト元素を含む層を有する研磨対象物を研磨する際、コバルト元素を含む層の溶解を抑制することができる研磨用組成物が提供される。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
Also published as:
EP3112436US20170009101JPWO2015129342KR1020160125957