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1. (WO2015129341) 直接描画装置用のGUI装置、直接描画システム、描画領域設定方法およびプログラム
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2015/129341 国際出願番号: PCT/JP2015/051356
国際公開日: 03.09.2015 国際出願日: 20.01.2015
IPC:
G06F 3/048 (2013.01) ,G03F 7/20 (2006.01) ,H01L 21/027 (2006.01)
G 物理学
06
計算;計数
F
電気的デジタルデータ処理
3
計算機で処理しうる形式にデータを変換するための入力装置;処理ユニットから出力ユニットへデータを転送するための出力装置,例.インタフェース装置
01
ユーザーと計算機との相互作用のための入力装置または入力と出力が結合した装置
048
グラフィカルユーザインタフェース(GUIs)に基づく相互作用技術
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
20
露光;そのための装置
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
027
その後のフォトリソグラフィック工程のために半導体本体にマスクするもので,グループ21/18または21/34に分類されないもの
出願人:
株式会社SCREENホールディングス SCREEN HOLDINGS CO., LTD. [JP/JP]; 京都府京都市上京区堀川通寺之内上る4丁目天神北町1ー1 Tenjinkita-machi 1-1, Teranouchi-agaru 4-chome, Horikawa-dori, Kamigyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6028585, JP
発明者:
古川 至 FURUKAWA Itaru; JP
中井 一博 NAKAI Kazuhiro; JP
北村 清志 KITAMURA Kiyoshi; JP
代理人:
吉竹 英俊 YOSHITAKE Hidetoshi; JP
優先権情報:
2014-03651327.02.2014JP
発明の名称: (EN) GUI DEVICE FOR DIRECT-DRAWING APPARATUS, DIRECT-DRAWING SYSTEM, AND METHOD AND PROGRAM FOR SETTING DRAWING AREA
(FR) DISPOSITIF GUI POUR APPAREIL DE DESSIN DIRECT, SYSTÈME DE DESSIN DIRECT, ET PROCÉDÉ ET PROGRAMME POUR DÉFINIR UNE ZONE DE DESSIN
(JA) 直接描画装置用のGUI装置、直接描画システム、描画領域設定方法およびプログラム
要約:
(EN)  Provided are: a GUI device for a direct-drawing apparatus enabling setting intuitively and with few operations an arcuate-band-shaped area of a circular substrate as a drawing area or a non-drawing area using a direct-drawing apparatus; a direct-drawing system; and a method and program for setting the drawing area. For the arcuate-band-shaped area to be drawn using the direct-drawing apparatus, angle information related to the length in the circumferential direction of the arcuate-band-shaped area is inputted into an area (92) of an input area (90) shown on a screen (7) of the GUI device, information on the length from the center of the substrate to the arcuate-band-shaped area is inputted into an area (93), and information on the radial width of the arcuate-band-shaped area is inputted into an area (94).
(FR) L'invention concerne : un dispositif GUI pour un appareil de dessin direct permettant de définir intuitivement et avec peu d'opérations une zone en forme de bande arquée d'un substrat circulaire en tant que zone de dessin ou zone non de dessin à l'aide d'un appareil de dessin direct; un système de dessin direct; ainsi qu'un procédé et un programme destinés à définir la zone de dessin. Pour la zone en forme de bande arquée à dessiner à l'aide de l'appareil de dessin direct, des informations d'angle associées à la longueur dans le sens circonférentiel de la zone en forme de bande arquée sont entrées dans une zone (92) d'une zone d'entrée (90) représentée sur un écran (7) du dispositif GUI, des informations sur la longueur allant du centre du substrat à la zone en forme de bande arquée sont entrées dans une zone (93), et des informations sur la largeur radiale de la zone en forme de bande arquée sont entrées dans une zone (94).
(JA)  直接描画装置による描画領域または非描画領域として、円形状の基板上における円弧帯状領域を、少ない作業量で、かつ、直感的に設定することができる直接描画装置用のGUI装置、直接描画システム、描画領域設定方法およびプログラムを提供する。直接描画装置により描画すべき円弧帯状領域を、GUI装置の画面7に示される入力領域90における領域92に円弧帯状領域の円周方向の長さに関連する角度情報を入力し、領域93に基板の中心から円弧帯状領域までの長さ情報を入力し、領域94に円弧帯状領域の径方向における幅情報を入力する。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
KR1020160090902CN105981096