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1. (WO2015129122) パージ装置とパージ方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2015/129122 国際出願番号: PCT/JP2014/081944
国際公開日: 03.09.2015 国際出願日: 03.12.2014
IPC:
H01L 21/677 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677
移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
出願人:
村田機械株式会社 MURATA MACHINERY, LTD. [JP/JP]; 京都府京都市南区吉祥院南落合町3番地 3, Minami Ochiai-cho, Kisshoin, Minami-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6018326, JP
発明者:
村田 正直 MURATA Masanao; JP
山路 孝 YAMAJI Takashi; JP
代理人:
塩入 明 SHIOIRI Akira; JP
優先権情報:
2014-03660227.02.2014JP
発明の名称: (EN) PURGING APPARATUS AND PURGING METHOD
(FR) APPAREIL DE PURGE ET PROCÉDÉ DE PURGE
(JA) パージ装置とパージ方法
要約:
(EN)  A container is mounted at a predetermined position in a purging apparatus so as to prevent the container from being caught by a nozzle. When the container is lowered and mounted in the purging apparatus, two facing sides at the front edge of the bottom surface of the container and at the front edge of a recess portion and two facing sides on both right and left side edges of the bottom surface of the container are guided using a front portion guide, a side portion guide, and a center guide. Next, the nozzle is brought into contact with the bottom surface of the container.
(FR)  Dans le cadre de la présente invention, un contenant est monté à une position prédéterminée dans un appareil de purge afin d'empêcher le contenant d'être pris par une buse. Lorsque le contenant est abaissé et monté dans l'appareil de purge, deux côtés opposés au niveau du bord avant de la surface inférieure du contenant et au niveau du bord avant d'une partie évidement et deux côtés opposés sur les deux bords latéraux droit et gauche de la surface inférieure du contenant sont guidés en utilisant un guide de partie avant, un guide de partie latérale, et un guide central. Ensuite, la buse est mise en contact avec la surface inférieure du contenant.
(JA)  ノズルに容器が引っ掛からないように、容器をパージ装置の所定の位置に載置する。容器を下降させてパージ装置に載置する際に、前部ガイド、側部ガイド、及びセンターガイドにより、容器底面の前端と凹部の前端の対向する2辺、及び容器底部の左右両側端の対向する2辺をガイドする。次いでノズルを容器の底部に接触させる。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
CN105900226JPWO2015129122US20170243776