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1. WO2015079535 - X線分析装置およびX線分析方法

公開番号 WO/2015/079535
公開日 04.06.2015
国際出願番号 PCT/JP2013/082066
国際出願日 28.11.2013
IPC
G01N 23/223 2006.01
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
23グループG01N3/00~G01N17/00,G01N21/00またはG01N22/00に包含されない波動性または粒子性放射線,例.X線,中性子線,の使用による材料の調査または分析
22材料からの二次放射の測定によるもの
223X線またはガンマ線を試料に照射して蛍光X線を測定するもの
CPC
G01N 23/223
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
23Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
22by measuring secondary emission from the material
223by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
出願人
  • 株式会社島津製作所 SHIMADZU CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 鈴木 桂次郎 SUZUKI, Keijiro
代理人
  • 特許業務法人京都国際特許事務所 KYOTO INTERNATIONAL PATENT LAW OFFICE
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) X-RAY ANALYSIS DEVICE AND X-RAY ANALYSIS METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ D'ANALYSE PAR RAYONS X
(JA) X線分析装置およびX線分析方法
要約
(EN)
The present invention addresses the problem of providing an X-ray analysis device that makes it possible for a user to specify a degree of peak separation along the energy axis direction of a spectrum. The present invention provides an X-ray analysis device that is provided with: an X-ray source for emitting X-rays toward a sample; a detection unit (13) for outputting a detection signal upon detecting X-ray fluorescence radiated from the sample; a signal processing unit (14) for generating, from the detection signal, a spectrum having energy as the horizontal axis thereof; a resolution determination unit (22) for determining, on the basis of a peak under measurement on the spectrum that corresponds to an element under measurement and the specification by a user of an index value indicating the degree of separation of the peak under measurement and the nearest peak, a specified energy resolution at the energy position of the peak under measurement; a storage unit (23) for storing the relationship between the peaking time of the detection unit and the energy resolution at a prescribed energy position; and a peaking time determination unit (24) for determining a specified peaking time corresponding to the specified energy resolution using the relationship between the peaking time and the energy resolution at the prescribed energy position.
(FR)
La présente invention concerne un dispositif d'analyse par rayons X qui permet à un utilisateur de spécifier un degré de séparation de pics le long de la direction de l'axe de l'énergie d'un spectre. La présente invention concerne donc un dispositif d'analyse par rayons X comprenant : une source de rayons X servant à émettre des rayons X vers un échantillon ; une unité de détection (13) servant à sortir un signal de détection lors de la détection d'une fluorescence X émise par l'échantillon ; une unité de traitement de signal (14) servant à générer, à partir du signal de détection, un spectre ayant un axe horizontal sur lequel l'énergie est représentée ; une unité de détermination de résolution (22) servant à déterminer, sur la base d'un pic mesuré sur le spectre qui correspond à un élément à mesurer et de la spécification d'un utilisateur d'une valeur d'indice indiquant le degré de séparation du pic mesuré et du pic le plus proche, une résolution en énergie spécifiée à la position d'énergie du pic mesuré ; une unité de stockage (23) servant à stocker la relation entre le moment de la détection du pic par l'unité de détection et la résolution en énergie à une position d'énergie prédéterminée ; et une unité de détermination du moment de la détection d'un pic (24) servant à déterminer un moment spécifié de détection d'un pic correspondant à la résolution en énergie spécifiée au moyen de la relation entre le moment de la détection d'un pic et la résolution en énergie à la position d'énergie prédéterminée.
(JA)
 スペクトルのエネルギー軸方向におけるピークの分離の程度をユーザが指定することを可能としたX線分析装置を提供することを課題とする。X線を試料に向けて出射するX線源と、試料から放射される蛍光X線を検出すると検知信号を出力する検出部13と、検知信号から、横軸をエネルギーとしたスペクトルを生成する信号処理部14と、測定対象元素に対応するスペクトル上の測定対象ピークと、該測定対象ピークと最近接ピークとの分離の程度を表す指標値のユーザによる指定に基づき、測定対象ピークのエネルギー位置での指定エネルギー分解能を決定する分解能決定部22と、検出部のピーキングタイムと所定のエネルギー位置でのエネルギー分解能の関係を保持する記憶部23と、指定エネルギー分解能に対応する指定ピーキングタイムを、ピーキングタイムと所定のエネルギー位置でのエネルギー分解能の関係を用いて決定するピーキングタイム決定部24とを備えるX線分析装置を提供する。
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