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1. (WO2015076369) 静電チャック
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2015/076369    国際出願番号:    PCT/JP2014/080908
国際公開日: 28.05.2015 国際出願日: 21.11.2014
IPC:
H01L 21/683 (2006.01), B23Q 3/15 (2006.01), H02N 13/00 (2006.01)
出願人: KYOCERA CORPORATION [JP/JP]; 6, Takeda Tobadono-cho, Fushimi-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6128501 (JP)
発明者: HORIUCHI, Masahiko; (JP)
優先権情報:
2013-241907 22.11.2013 JP
発明の名称: (EN) ELECTROSTATIC CHUCK
(FR) MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE
(JA) 静電チャック
要約: front page image
(EN)An electrostatic chuck according to one embodiment of the present invention is for clamping a target object thereto and is provided with a bottom surface and a base having a first surface that comprises a protruding surface section that protrudes from the bottom surface. The protruding surface section comprises a first top surface and a stepped surface that is arranged between the first top surface and the bottom surface.
(FR)Selon un mode de réalisation, la présente invention concerne un mandrin électrostatique dans lequel doit être serré un objet cible et qui comporte une surface inférieure et une base présentant une première surface qui comprend une section de surface en saillie qui fait saillie depuis la surface inférieure. La section de surface en saillie comprend une première surface supérieure et une surface en escalier qui est agencée entre la première surface supérieure et la surface inférieure.
(JA) 一態様に係る静電チャックは、対象物を吸着するための静電チャックであって、底面および該底面から突出した突起表面部を含む第1表面を有する基体を備え、該突起表面部は、第1頂面と、前記第1頂面と前記底面との間に配置された段差面とを有する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)