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1. (WO2015075922) 紫外線透過性基板の洗浄装置及び洗浄方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2015/075922    国際出願番号:    PCT/JP2014/005811
国際公開日: 28.05.2015 国際出願日: 19.11.2014
IPC:
H01L 21/304 (2006.01), B08B 3/08 (2006.01), B08B 3/10 (2006.01), B08B 7/00 (2006.01), G02F 1/13 (2006.01), G02F 1/1333 (2006.01)
出願人: NOMURA MICRO SCIENCE CO., LTD. [JP/JP]; 2-9-8, Okada, Atsugi-shi, Kanagawa 2430021 (JP)
発明者: JIZAIMARU, Takayuki; (JP)
代理人: SAKURA PATENT OFFICE, P.C.; PMO Kanda Tsukasa-machi, 8-1, Kanda Tsukasa-machi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010048 (JP)
優先権情報:
2013-241894 22.11.2013 JP
発明の名称: (EN) UV-TRANSMITTING-SUBSTRATE CLEANING DEVICE AND CLEANING METHOD
(FR) DISPOSITIF DE NETTOYAGE DE SUBSTRAT TRANSMETTEUR D'UV ET PROCÉDÉ DE NETTOYAGE
(JA) 紫外線透過性基板の洗浄装置及び洗浄方法
要約: front page image
(EN)A UV-transmitting-substrate cleaning device in an embodiment is provided with the following: an ozonated-water supply unit that supplies ozonated water to a cleaning surface of a substrate; and an ultraviolet-light irradiation unit that, with ozonated water supplied to said cleaning surface, irradiates the opposite surface of the substrate with ultraviolet light containing wavelengths in the 250-260 nm range.
(FR)Dans un mode de réalisation, un dispositif de nettoyage de substrat transmetteur d'UV présente les éléments suivants: une unité d'alimentation en eau ozonisée qui fournit de l'eau ozonisée sur une surface de nettoyage d'un substrat; et une unité d'irradiation à la lumière ultraviolette qui, avec l'eau ozonisée fournie sur ladite surface de nettoyage, irradie la surface opposée du substrat avec la lumière ultraviolette présentant des longueurs d'ondes dans la plage de 250 à 260 nm.
(JA) 実施形態の紫外線透過性基板の洗浄装置は、基板の洗浄面にオゾン水を供給するオゾン水供給部と、前記基板の洗浄面にオゾン水が供給された状態で前記基板の洗浄面と反対側の面に250~260nmの波長を含む紫外線を照射する紫外線照射部とを備える。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)