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1. (WO2015075765) 多層膜用エッチング液とエッチング濃縮液およびエッチング方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2015/075765    国際出願番号:    PCT/JP2013/006915
国際公開日: 28.05.2015 国際出願日: 25.11.2013
IPC:
C23F 1/18 (2006.01), C23F 1/26 (2006.01)
出願人: PANASONIC INTELLECTUAL PROPERTY MANAGEMENT CO., LTD. [JP/JP]; 1-61, Shiromi 2-chome, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka 5406207 (JP)
発明者: CHAKUNO, Makoto; .
KOSANO, Yoshihide; .
FUCHIGAMI, Shinichirou;
代理人: HIROKOH, Masaki; Tatsuno Nishi-Tenma Bldg., 1-6, Nishi-Tenma 3-chome, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300047 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) MULTILAYER-FILM ETCHANT, CONCENTRATED ETCHANT, AND ETCHING METHOD
(FR) AGENT D'ATTAQUE CHIMIQUE DE FILM À COUCHES MULTIPLES, AGENT D'ATTAQUE CHIMIQUE CONCENTRÉ ET PROCÉDÉ D'ATTAQUE CHIMIQUE
(JA) 多層膜用エッチング液とエッチング濃縮液およびエッチング方法
要約: front page image
(EN) When an etchant that alone can etch a multilayer film comprising a copper layer and a molybdenum layer is used during mass production, it is important for the cross-sectional shape of an edge after etching to satisfy the shape requirement of having a forward taper without an undercut, and that no precipitate be formed in the etchant. A multilayer-film etchant containing a copper layer and a molybdenum layer contains hydrogen peroxide, an inorganic acid, an acidic organic acid, a neutral organic acid, an amine compound, and a hydrogen peroxide decomposition inhibitor, but not an azole compound; therefore, no reaction products are generated from a reaction with the hydrogen peroxide, and no precipitates form in the etchant. Furthermore, the cross-sectional shape of the edge after etching can be formed into a desirable forward tapering shape. Containing no phosphorus compounds or fluorine compounds, the etchant will case minimal damage to the environment when disposed.
(FR) Lorsqu'un agent d'attaque chimique qui seul peut attaquer un film à couches multiples comprenant une couche de cuivre et une couche de molybdène est utilisé pendant une production en masse, il est important pour la forme en coupe transversale d'un bord après l'attaque de satisfaire la condition de forme d'avoir un effilement vers l'avant sans contre-dépouille, et qu'aucun précipité ne soit formé dans l'agent d'attaque chimique. Un agent d'attaque chimique de film à couches multiples contenant une couche de cuivre et une couche de molybdène contient du peroxyde d'hydrogène, un acide inorganique, un acide organique acide, un acide organique neutre, un composé amine et un inhibiteur de la décomposition du peroxyde d'hydrogène, mais pas de composé azole ; par conséquent, aucun produit de réaction n'est généré à partir d'une réaction avec le peroxyde d'hydrogène et aucun précipité ne se forme dans l'agent d'attaque chimique. De plus, la forme de coupe transversale du bord après l'attaque chimique peut être formée en une forme s'effilant vers l'avant souhaitable. Ne contenant pas de composés du phosphore ou de composés du fluor, l'agent d'attaque chimique provoquera des dommages minimaux à l'environnement lorsqu'il est jeté.
(JA) 銅層とモリブデン層の多層膜を1液でエッチングするエッチング液においては、エッチング後のエッジの断面形状が、アンダーカットがなく順テーパーになっているという形状的な要求とともに、エッチング液中に析出物が発生しない事が、量産時に用いられる際に重要となる。 過酸化水素と、無機酸と、酸性有機酸と、中性有機酸と、アミン化合物と、過酸化水素分解抑制剤を含む銅層とモリブデン層を含む多層膜用エッチング液は、アゾール化合物を含まないため、過酸化水素との間で反応物を生成することがなく、エッチング液中に析出物は生じない。しかも、エッチング後のエッジの断面形状が、好ましい順テーパー形状にすることができる。さらに、リン化合物、フッ素化合物も含まないため、廃棄の際に環境負荷も軽い。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)