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1. (WO2015063969) キャリアプレート及びワークの両面研磨装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2015/063969    国際出願番号:    PCT/JP2014/002975
国際公開日: 07.05.2015 国際出願日: 04.06.2014
IPC:
B24B 37/28 (2012.01), H01L 21/304 (2006.01)
出願人: SUMCO CORPORATION [JP/JP]; 2-1, Shibaura 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058634 (JP)
発明者: MIURA, Tomonori; (JP)
代理人: SUGIMURA, Kenji; 36F, Kasumigaseki Common Gate West, 3-2-1, Kasumigaseki, Chiyoda-ku, Tokyo 1000013 (JP)
優先権情報:
2013-224414 29.10.2013 JP
発明の名称: (EN) CARRIER PLATE AND WORKPIECE DOUBLE-SIDE POLISHING DEVICE
(FR) PLAQUE DE SOUTIEN ET DISPOSITIF DE POLISSAGE DOUBLE-FACE DE PIÈCE
(JA) キャリアプレート及びワークの両面研磨装置
要約: front page image
(EN)This carrier plate for a workpiece double-side polishing device is characterized by having one holding hole for holding a workpiece, and by being provided with a plurality of main grooves that, on at least the top surface of the carrier plate, extend between edge parts of the carrier plate which are delimited by the holding hole. This workpiece double-side polishing device is also characterized by being provided with the following: a rotating surface-plate that has an upper surface-plate and a lower surface-plate; a sun gear provided in the central portion of the rotating surface-plate; an internal gear provided at the outer circumferential portion of the rotating surface-plate; and the carrier plate provided between the upper surface-plate and the lower surface-plate.
(FR)Plaque de soutien destiné à un dispositif de polissage double-face de pièce, caractérisée en ce qu'elle comporte un trou de support destiné à supporter une pièce, et en ce qu'elle est pourvue d'une pluralité de rainures principales qui, sur au moins la surface supérieure de la plaque de soutien, s'étendent entre les parties bords de la plaque de soutien qui sont délimitées par le trou de support. Ce dispositif de polissage double-face de pièce est également caractérisé en ce qu'il est pourvu des éléments suivants : une plaque de surface rotative qui possède une plaque de surface supérieure et une plaque de surface inférieure ; un planétaire disposé dans la partie centrale de la plaque de surface rotative ; un engrenage interne disposé au niveau de la partie circonférentielle extérieure de la plaque de surface rotative ; et la plaque de soutien disposée entre la plaque de surface supérieure et la plaque de surface inférieure.
(JA) 本発明のワークの両面研磨装置用のキャリアプレートは、ワークを保持する1つの保持孔を有し、前記キャリアプレートの少なくとも上面に、前記保持孔により区画される前記キャリアプレートの縁部間を延びる、複数本の主溝を設けたことを特徴とする。また、本発明のワークの両面研磨装置は、上定盤及び下定盤を有する回転定盤と、前記回転定盤の中心部に設けられたサンギアと、前記回転定盤の外周部に設けられたインターナルギアと、前記上定盤と前記下定盤との間に設けられた、上記キャリアプレートと、を備えたことを特徴とする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)