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1. WO2015025808 - ファイバの固定方法、ファイバ保持部材に固定されたファイバ固定構造体、該ファイバ固定構造体を備えたレーザ装置、露光装置及び検査装置

公開番号 WO/2015/025808
公開日 26.02.2015
国際出願番号 PCT/JP2014/071538
国際出願日 18.08.2014
IPC
H01S 3/067 2006.01
H電気
01基本的電気素子
S光を増幅または生成するために,放射の誘導放出による光増幅を用いた装置;光領域以外の電磁放射の誘導放出を用いた装置
3レーザ,すなわち赤外線,可視光または紫外線領域での電磁放射の誘導放出を用いた装置
05光学的な共振器の構造または形状;活性媒質の調整;活性媒質の形状
06活性媒質の構造または形状
063導波路型レーザ,例.レーザ増幅器
067ファイバ型レーザ
G02B 6/00 2006.01
G物理学
02光学
B光学要素,光学系,または光学装置
6ライトガイド;ライトガイドおよびその他の光素子,例.カップリング,からなる装置の構造的細部
G03F 7/20 2006.01
G物理学
03写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
Fフォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
20露光;そのための装置
H01L 21/027 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
027その後のフォトリソグラフィック工程のために半導体本体にマスクするもので,グループH01L21/18またはH01L21/34に分類されないもの
H01S 3/00 2006.01
H電気
01基本的電気素子
S光を増幅または生成するために,放射の誘導放出による光増幅を用いた装置;光領域以外の電磁放射の誘導放出を用いた装置
3レーザ,すなわち赤外線,可視光または紫外線領域での電磁放射の誘導放出を用いた装置
H01S 3/042 2006.01
H電気
01基本的電気素子
S光を増幅または生成するために,放射の誘導放出による光増幅を用いた装置;光領域以外の電磁放射の誘導放出を用いた装置
3レーザ,すなわち赤外線,可視光または紫外線領域での電磁放射の誘導放出を用いた装置
02構造的な細部
04冷却装置
042固体レーザのためのもの
CPC
G02B 6/4457
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
6Light guides
44Mechanical structures for providing tensile strength and external protection for fibres, e.g. optical transmission cables
4401Optical cables
4439Auxiliary devices
4457Bobbins; Reels
G03F 7/70025
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR;
7Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
70Exposure apparatus for microlithography
70008Production of exposure light, i.e. light sources
70025by lasers
H01S 3/0092
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
3Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
005Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
0092Nonlinear frequency conversion, e.g. second harmonic generation [SHG] or sum- or difference-frequency generation outside the laser cavity
H01S 3/0407
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
3Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
02Constructional details
04Cooling arrangements
0407Liquid cooling, e.g. by water
H01S 3/042
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
3Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
02Constructional details
04Cooling arrangements
042for solid state lasers
H01S 3/06704
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
3Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
05Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
06Construction or shape of active medium
063Waveguide lasers, ; i.e. whereby the dimensions of the waveguide are of the order of the light wavelength
067Fibre lasers
06704Housings; Packages
出願人
  • 株式会社ニコン NIKON CORPORATION [JP/JP]; 東京都千代田区有楽町一丁目12番1号 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331, JP
発明者
  • 森尾 昌隆 MORIO, Masataka; JP
代理人
  • 永井 冬紀 NAGAI, Fuyuki; JP
優先権情報
2013-16962819.08.2013JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) METHOD FOR SECURING FIBER, FIBER-SECURING-STRUCTURE BODY SECURED TO FIBER HOLDING MEMBER, LASER DEVICE PROVIDED WITH SAID FIBER-SECURING-STRUCTURE BODY, EXPOSURE DEVICE, AND INSPECTION DEVICE
(FR) PROCÉDÉ DE FIXATION DE FIBRE, CORPS DE STRUCTURE DE FIXATION DE FIBRE FIXÉ À UN ORGANE DE MAINTIEN DE FIBRE, DISPOSITIF À LASER MUNI DUDIT CORPS DE STRUCTURE DE FIXATION DE FIBRE, DISPOSITIF D'EXPOSITION ET DISPOSITIF D'INSPECTION
(JA) ファイバの固定方法、ファイバ保持部材に固定されたファイバ固定構造体、該ファイバ固定構造体を備えたレーザ装置、露光装置及び検査装置
要約
(EN)
 A method for securing a double-clad fiber in which a double-clad fiber is secured using a fiber holding member, the double-clad fiber having a core doped with a laser medium, a first clad to which excitation light is introduced and which covers the outer circumference of the core, and a second clad covering the outer circumference of the first clad, wherein the double-clad fiber is secured to the fiber holding member using an adhesive having a post-curing refraction index (n6) that is substantially equal to or greater than the refraction index (n2) of the second clad, and smaller than the refraction index (n1) of the first clad, the adhesive being applied to, and cured on, the double-clad fiber installed in the fiber holding member so that the adhesive covers the outer circumference of the second clad.
(FR)
 L'invention concerne un procédé de fixation d'une fibre à double gaine, au cours duquel une fibre à double gaine est fixée en utilisant un organe de maintien de fibre, la fibre à double gaine comprenant un cœur dopé avec un milieu à laser, une première gaine dans laquelle est introduite une lumière d'excitation et qui recouvre la circonférence extérieure du cœur, et une deuxième gaine recouvrant la circonférence extérieure de la première gaine, la fibre à double gaine étant fixée à l'organe de maintien de fibre à l'aide d'un adhésif présentant un indice de réfraction après durcissement (n6) qui est sensiblement égal ou supérieur à l'indice de réfraction (n2) de la deuxième gaine, et inférieur à l'indice de réfraction (n1) de la première gaine, l'adhésif étant appliqué et durci sur la fibre à double gaine installée dans l'organe de maintien de fibre de telle façon que l'adhésif recouvre la circonférence extérieure de la deuxième gaine.
(JA)
 レーザ媒質がドープされたコアと、コアの外周を覆い励起光が導入される第1クラッドと、第1クラッドの外周を覆う第2クラッドと、を有するダブルクラッドファイバをファイバ保持部材に固定するダブルクラッドファイバの固定方法であって、硬化後の屈折率n6が第2クラッドの屈折率n2と略同一以上であり且つ第1クラッドの屈折率n1よりも小さい接着剤を用い、ファイバ保持部材に配設されたダブルクラッドファイバに、第2クラッドの外周を覆うように接着剤を塗布して硬化させ、ダブルクラッドファイバをファイバ保持部材に固定するダブルクラッドファイバの固定方法。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報