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1. WO2015025784 - 浮上搬送装置

公開番号 WO/2015/025784
公開日 26.02.2015
国際出願番号 PCT/JP2014/071366
国際出願日 13.08.2014
IPC
B65G 49/06 2006.01
B処理操作;運輸
65運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い
G運搬または貯蔵装置,例.荷積みまたは荷あげ用コンベヤ;作業場コンベヤシステムまたは気体式チューブコンベヤ
49他の分類に属せず,特殊な目的に適用されることを特徴とする移送装置
05もろい,または損傷性材料または物品用のもの
06もろい薄板状材料,例.ガラス板,用のもの
B65G 51/03 2006.01
B処理操作;運輸
65運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い
G運搬または貯蔵装置,例.荷積みまたは荷あげ用コンベヤ;作業場コンベヤシステムまたは気体式チューブコンベヤ
51流体の流れまたは圧力によるパイプまたはチューブ中での物品の運搬;平らな面上,例.樋の底部上で,物品をその面に位置しているジェットによる運搬
02ガスの流れによって,物品,例.伝票,シート,ストッキング,コンテナまたはワークを直接運搬するもの
03平担面上またはトラフ内
H01L 21/677 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
CPC
B65G 49/065
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
49Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
05for fragile or damageable materials or articles
06for fragile sheets, e.g. glass
063Transporting devices for sheet glass
064in a horizontal position
065supported partially or completely on fluid cushions, e.g. a gas cushion
B65G 51/03
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
51Conveying articles through pipes or tubes by fluid flow or pressure; Conveying articles over a flat surface, e.g. the base of a trough, by jets located in the surface
02Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases
03over a flat surface or in troughs
H01L 21/67784
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
677for conveying, e.g. between different workstations
67784using air tracks
出願人
  • オイレス工業株式会社 OILES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区港南一丁目6番34号 6-34, Kounan 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1080075, JP
発明者
  • 角田 耕一 TSUNODA, Koichi; JP
  • 伊藤 彰彦 ITO, Akihiko; JP
  • 安田 貴裕 YASUDA, Takahiro; JP
代理人
  • 大関 光弘 OHZEKI, Mitsuhiro; JP
優先権情報
2013-17273022.08.2013JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) LEVITATION TRANSPORTATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE TRANSPORT PAR LÉVITATION
(JA) 浮上搬送装置
要約
(EN)
 Provided is a levitation transportation device having simple pipework for discharging compressed gas from a conveyance surface. A plurality of discharge ports (301) are formed on the conveying surface (300) of an inward/outward conveying rail (3) and a plurality of intake ports (311) are formed on the rear surface (310) of the inward/outward conveying rail (3), and the discharge ports (301) and the intake ports (311) are linked by an intake channel (lattice-shaped groove (314)) inside the inward/outward conveying rail (3). An intake manifold (5) is installed on the rear surface (310) side of the inward/outward conveying rail (3), and intake port linking ports (505) corresponding to the intake ports (311) on the rear surface (310) of the inward/outward conveying rail (3) are formed on intake square pipe parts (500) of the intake manifold (5), and the intake port linking ports (505) are linked to the corresponding intake ports (311) through joints (9). At least one intake nipple attachment port (506) to which is attached an intake nipple (70a) connected to an intake hose (7a), is formed in the intake square pipe parts (500).
(FR)
 La présente invention concerne un dispositif de transport par lévitation possédant une conduite simple permettant d'évacuer un gaz comprimé à partir d'une surface de transport. Une pluralité d'orifices d'évacuation (301) sont formés sur la surface de transport (300) d'un rail de transport (3) vers l'intérieur/l'extérieur et une pluralité d'orifices d'admission (311) sont formés sur la surface arrière (310) du rail de transport (3) vers l'intérieur/l'extérieur, et les orifices d'évacuation (301) et les orifices d'admission (311) sont reliés par un canal d'admission (rainure en forme de treillis (314)) à l'intérieur du rail de transport (3) vers l'intérieur/l'extérieur. Un collecteur d'admission (5) est installé sur la surface arrière (310) du rail de transport (3) vers l'intérieur/l'extérieur, et des orifices de liaison (505) d'orifice d'admission correspondant aux orifices d'admission (311) de la surface arrière (310) du rail de transport (3) vers l'intérieur/l'extérieur sont formés sur des parties (500) de tuyaux carrés d'admission du collecteur d'admission (5), et les orifices de liaison (505) d'orifice d'admission sont reliés aux orifices d'admission correspondants (311) par l'intermédiaire de joints (9). Au moins un orifice (506) de fixation de mamelon d'admission auquel est fixé un mamelon d'admission (70a) raccordé à un tuyau flexible d'admission (7a) est formé sur les parties (500) de tuyaux carrés d'admission.
(JA)
 搬送面からの圧縮気体噴出のための配管作業が容易な浮上搬送装置を提供する。 搬入出用レール(3)の搬送面(300)には複数の噴出口(301)、裏面(310)には複数の給気口(311)が形成され、これら噴出口(301)及び給気口(311)は搬入出用レール(3)内の給気路(格子状の溝(314))で連結されている。搬入出用レール(3)の裏面(310)側には給気用マニホールド(5)が設置され、給気用マニホールド(5)の給気用角パイプ部(500)には、搬入出用レール(3)の裏面(310)の各給気口(311)に対応する給気口連結口(505)が形成され、これら給気口連結口(505)は、各ジョイント(9)を介して対応する給気口(311)に連結される。給気用角パイプ部(500)には、給気用ホース(7a)が接続される給気ニップル(70a)が取付けられる給気ニップル取付口(506)が少なくとも1つ形成されている。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報