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1. WO2015025606 - 電磁コイル付マグネト・インピーダンス・センサ素子および電磁コイル付マグネト・インピーダンス・センサ

公開番号 WO/2015/025606
公開日 26.02.2015
国際出願番号 PCT/JP2014/066447
国際出願日 20.06.2014
IPC
G01R 33/02 2006.01
G物理学
01測定;試験
R電気的変量の測定;磁気的変量の測定
33磁気的変量を測定する計器または装置
02磁界または磁束の方向または大きさの測定
CPC
G01R 33/063
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
33Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
02Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
06using galvano-magnetic devices, e.g. Hall effect devices; using magneto-resistive devices
063Magneto-impedance sensors; Nanocristallin sensors
出願人
  • マグネデザイン株式会社 MAGNEDESIGN CORPORATION [JP/JP]; 愛知県知多郡東浦町大字緒川字東仙台33番地の10 33-10,Aza Tousendai,Oaza Ogawa,Higashiura-chou,Chita-gun Aichi 4702102, JP
発明者
  • 本蔵 義信 HONKURA Yoshinobu; JP
優先権情報
2013-17006120.08.2013JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) MAGNETO-IMPEDANCE SENSOR ELEMENT WITH ELECTROMAGNETIC COIL AND MAGNETO-IMPEDANCE SENSOR WITH ELECTROMAGNETIC COIL
(FR) ÉLÉMENT DE CAPTEUR À MAGNÉTO-IMPÉDANCE À BOBINE ÉLECTROMAGNÉTIQUE ET CAPTEUR À MAGNÉTO-IMPÉDANCE À BOBINE ÉLECTROMAGNÉTIQUE
(JA) 電磁コイル付マグネト・インピーダンス・センサ素子および電磁コイル付マグネト・インピーダンス・センサ
要約
(EN)
Provided is a technique for reducing the coil pitch and increasing the number of coil turns of an MI element and making enhanced sensitivity and compactness possible. An MI element comprises a magnetic wire and a coil wrapped therearound that are disposed on an electrode wiring substrate. In the production of the coil, focusing on a three-layer structure comprising a recessed lower coil portion, a protruding upper coil portion, and a through-hole portion connecting the two coil portions and a thin-film coil wire formed through a vapor-deposition process makes it possible to make the coil pitch less than or equal to 14 µm.
(FR)
La présente invention porte sur une technique destinée à réduire le pas de bobinage, et à augmenter le nombre de tours de bobine d'un élément à magnéto-impédance (MI) tout en permettant une sensibilité et une compacité améliorées. Un élément MI comprend un fil magnétique et une bobine enroulée autour, le fil et la bobine étant disposés sur un substrat de câblage d'électrode. Dans la fabrication de la bobine, le fait de se concentrer sur une structure à trois couches comportant une partie de bobine inférieure en creux, une partie de bobine supérieure faisant saillie et une partie de trou traversant connectant les deux parties de bobine et un fil à bobiner en film mince formé par un procédé de dépôt en phase vapeur permet de rendre le pas de bobinage inférieur ou égal à 14 µm.
(JA)
MI素子のコイルピッチを微細化してコイル巻数の増加を図り、高感度化・小型化を可能とするための技術を提供する。 MI素子は、磁性ワイヤとその周りに巻きつけたコイルとを電極配線基板上に設置するものであるが、コイルの製作に関して、凹形状のコイル下部と凸形状のコイル上部および両者を連結するスルーホール部分の3層構造および蒸着プロセスによる薄膜コイル線に着目することによって、コイルピッチを14μm以下にすることができる。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報