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1. WO2015022793 - 機能解除モードと機能拡張モードを有する荷電粒子線装置

公開番号 WO/2015/022793
公開日 19.02.2015
国際出願番号 PCT/JP2014/062983
国際出願日 15.05.2014
IPC
H01J 37/24 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02細部
24管の特定用途に使用されず,かつ他のどの分類にも属しない回路装置
H01J 37/147 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02細部
04電極装置および放電を発生しまたは制御するための関連部品,例.電子光学装置,イオン光学装置
147希望する通路に沿って放電を直進しまたは偏向するための装置
H01J 37/20 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02細部
20物体または材料を支持しまたは位置づける手段;支持体に関連した隔膜壁またはレンズを調節する手段
H01J 37/22 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02細部
22管と関連した光学または写真装置
H01J 37/28 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
26電子またはイオン顕微鏡;電子またはイオン回折管
28走査ビームを有するもの
CPC
H01J 37/265
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
26Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
261Details
265Controlling the tube; circuit arrangements adapted to a particular application not otherwise provided, e.g. bright-field-dark-field illumination
H01J 37/28
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
26Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
28with scanning beams
出願人
  • 株式会社日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
発明者
  • 梶山 浩嗣 KAJIYAMA Hirotsugu; JP
  • 佐藤 貢 SATO Mitsugu; JP
  • 安藤 徹 ANDO Tohru; JP
  • 齋藤 勉 SAITO Tsutomu; JP
  • 重藤 訓志 SHIGETO Kunji; JP
代理人
  • 特許業務法人開知国際特許事務所 KAICHI IP; 東京都中央区日本橋本町三丁目4番1号 4-1, Nihonbashi-honcho 3-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030023, JP
優先権情報
2013-16779512.08.2013JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE HAVING A FUNCTION CANCELLING MODE AND A FUNCTION EXPANDING MODE
(FR) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES AYANT UN MODE D'ANNULATION DE FONCTION ET UN MODE D'EXTENSION DE FONCTION
(JA) 機能解除モードと機能拡張モードを有する荷電粒子線装置
要約
(EN)
The present invention pertains to the achievement of a charged particle beam device that can be used easily even by a beginner, is such that observations can be made without awareness of complicated observation conditions including the height and tilt of a sample stage, and is able to set minute observation conditions when advanced observations are desired. For example, the charged particle beam device has: an expansion cancelling mode that displays at an image display unit an operating region such that the field of view of the sample image is operated to move in the rotational direction and up, down, left, and right, maintains a set height for the sample stage, and maintains a horizontal sample stage tilt angle; and a function expanding mode that displays at the image display unit an operating region such that the field of view of the sample image is operated to move in the rotational direction and up, down, left, and right, and is operated with respect to the height and tilt angle of the sample stage. For example, there are an expansion cancelling mode such that the spacing between the sample stage and the tip of a charged particle optical system and the tilt of the sample stage cannot be operated, and a function expanding mode such that any given 3D movement, tilt, and rotation of the sample stage can be operated, and it is possible to switch between the expansion cancelling mode and the function expanding mode.
(FR)
La présente invention concerne la fabrication d'un dispositif à faisceau de particules chargées qui peut être utilisé facilement même par un débutant, qui est tel que des observations peuvent être faites sans avoir conscience de conditions d'observation compliquées, y compris la hauteur et l'inclinaison d'une platine d'échantillon, et qui permet de régler des conditions d'observation de taille minuscule quand des observations avancées sont souhaitées. Par exemple, le dispositif à faisceau de particules chargées possède : un mode d'annulation d'extension qui affiche, au niveau d'une unité d'affichage d'image, une région de commande permettant de commander le champ de vision de l'image d'échantillon pour le déplacer dans la direction de rotation et vers le haut, le bas, la gauche et la droite, qui maintient une hauteur réglée pour la platine d'échantillon et qui maintient un angle d'inclinaison de platine d'échantillon horizontal; un mode d'extension de fonction qui affiche, au niveau de l'unité d'affichage d'image, une région de commande permettant de commander le champ de vision de l'image d'échantillon pour le déplacer dans la direction de rotation et vers le haut, le bas, la gauche et la droite, et de le commander relativement à la hauteur et à l'angle d'inclinaison de la platine d'échantillon. Par exemple, il existe un mode d'annulation d'extension dans lequel il est impossible de commander l'espacement entre la platine d'échantillon et la pointe d'un système optique à particules chargées, ainsi que l'inclinaison de la platine d'échantillon, et un mode d'extension de fonction dans lequel il est possible de commander n'importe quel mouvement 3D donné, l'inclinaison et la rotation de la platine d'échantillon, et il est possible de commuter entre le mode d'annulation d'extension et le mode d'extension de fonction.
(JA)
 本発明は試料ステージの高さや傾斜を含めた複雑な観察条件の意識なく観察でき初心者でも簡単に使用できる荷電粒子線装置でありながら高度な観察をしたい場合にも細かな観察条件を設定できる荷電粒子線装置の実現に関する。例えば試料ステージの高さの一定維持、及び試料ステージ傾斜角の水平維持、並びに試料画像の視野の上下左右及び回転方向への移動操作する操作領域を画像表示部に表示する拡張解除モードと、試料ステージの高さ及び傾斜角の操作、並びに試料画像の視野の上下左右及び回転方向へ移動操作する操作領域を画像表示部に表示する機能拡張モードを有する荷電粒子線装置に関する。例えば荷電粒子光学系の端部と試料ステージとの間隔及び試料ステージの傾斜を操作できない拡張解除モードと、試料ステージの三次元移動、傾斜及び回転を任意に操作できる機能拡張モードを有し拡張解除モードと機能拡張モードの切替えを操作できる。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報