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1. WO2015022757 - 層間光波結合デバイス

公開番号 WO/2015/022757
公開日 19.02.2015
国際出願番号 PCT/JP2013/077038
国際出願日 04.10.2013
IPC
G02B 6/122 2006.01
G物理学
02光学
B光学要素,光学系,または光学装置
6ライトガイド;ライトガイドおよびその他の光素子,例.カップリング,からなる装置の構造的細部
10光導波路型のもの
12集積回路型のもの
122基本的光学要素,例.ライトガイドパス
CPC
G02B 6/1228
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
6Light guides
10of the optical waveguide type
12of the integrated circuit kind
122Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
1228Tapered waveguides, e.g. integrated spot-size transformers
出願人
  • 独立行政法人産業技術総合研究所 NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY [JP/JP]; 東京都千代田区霞が関1丁目3番1号 3-1, Kasumigaseki 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008921, JP
発明者
  • 榊原 陽一 SAKAKIBARA Youichi; JP
  • 武井 亮平 TAKEI Ryohei; JP
  • 森 雅彦 MORI Masahiko; JP
  • 亀井 利浩 KAMEI Toshihiro; JP
代理人
  • 重信 和男 SHIGENOBU Kazuo; 東京都千代田区紀尾井町4番1号 ガーデンコート19階 19F, Garden Court, 4-1, Kioi-cho, Chiyoda-ku, Tokyo 1028578, JP
優先権情報
2013-16718510.08.2013JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) INTERLAYER OPTICAL WAVE COUPLING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE COUPLAGE D'ONDE OPTIQUE INTERCOUCHE
(JA) 層間光波結合デバイス
要約
(EN)
Provided is an interlayer optical signal device, which has high performance, while suppressing an increase of manufacturing cost as much as possible. This interlayer optical wave coupling device is characterized in being provided with: a substrate; a lower cladding that is disposed on the substrate or in the substrate; a first core, which is disposed on the lower cladding, and which has a first sharp-pointed structure, said first core being formed of silicon; an interlayer cladding, which is formed on the lower cladding, and which covers at least the first core; a third core, which is formed on the interlayer cladding, and which has a second sharp-pointed structure, said third core being formed of silicon; and a polymer layer, which covers the lower cladding and the third core, and which constitutes the second core. The interlayer optical wave coupling device is also characterized in that: the first sharp-pointed structure and the second sharp-pointed structure are disposed such that the structures do not overlap each other in a planar view; a refractive index of the second core is smaller than a refractive index of the first core and a refractive index of the third core, and is larger than a refractive index of the lower cladding; and a refractive index of the interlayer cladding is smaller than the refractive index of the second core, and is equal to or larger than the refractive index of the lower cladding.
(FR)
La présente invention porte sur un dispositif à signal optique intercouche qui présente une performance élevée, tout en supprimant une augmentation de coût de fabrication autant que possible. Le dispositif de couplage d'onde optique intercouche est caractérisé en ce qu'il comporte : un substrat ; un gainage inférieur qui est disposé sur le substrat ou dans le substrat ; un premier cœur, qui est disposé sur le gainage inférieur, et qui présente une première structure à pointe aiguë, ledit premier cœur étant formé de silicium ; un gainage intercouche, qui est formé sur le gainage inférieur, et qui recouvre au moins le premier cœur ; un troisième cœur, qui est formé sur le gainage intercouche, et qui présente une seconde structure à pointe aiguë, ledit troisième cœur étant formé de silicium ; et une couche de polymère, qui recouvre le gainage inférieur et le troisième coeur, et qui constitue le deuxième cœur. Le dispositif de couplage d'onde optique intercouche est également caractérisé par le fait que : la première structure à pointe aiguë et la seconde structure à pointe aiguë sont disposées de telle sorte que les structures ne se chevauchent pas l'une l'autre dans une vue en plan ; un indice de réfraction du deuxième cœur est plus petit qu'un indice de réfraction du premier cœur et un indice de réfraction du troisième cœur, et est plus grand qu'un indice de réfraction du gainage inférieur ; et un indice de réfraction du gainage intercouche est plus petit que l'indice de réfraction du deuxième cœur, et est égal à ou plus grand que l'indice de réfraction du gainage inférieur.
(JA)
 製造コストの増大を極力抑えながら、高性能な層間光信号デバイスを提供すること。 基板と、該基板上又は基板に配置された下クラッドと、該下クラッド上に配置され第一の先鋭構造を有するシリコンからなる第一のコアと、該下クラッド上に形成され少なくとも該第一のコアを被覆する層間クラッドと、該層間クラッド上に形成され第二の先鋭構造を有するシリコンからなる第三のコアと、該下クラッド及び該第三のコアを被覆し、第二のコアを構成するポリマ層とを備え、該第一の先鋭構造及び該第二の先鋭構造は、平面視して重なりを持たないように配置されるとともに、該第二のコアの屈折率は、該第一のコア及び該第三のコアの屈折率よりも小さく、かつ該下クラッドの屈折率よりも大きく、該層間クラッドの屈折率は、該第二のコアの屈折率よりも小さく、かつ下クラッドの屈折率と同等以上の屈折率であることを特徴とする層間光波結合デバイス。
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