処理中

しばらくお待ちください...

設定

設定

1. WO2015022732 - ノズル、洗浄装置及び洗浄方法

公開番号 WO/2015/022732
公開日 19.02.2015
国際出願番号 PCT/JP2013/071882
国際出願日 13.08.2013
IPC
B08B 7/00 2006.01
B処理操作;運輸
08清掃
B清掃一般;汚れ防止一般
7このサブクラスの単一のグループあるいは他の単一のサブクラスに分類されない方法による清掃
CPC
B05B 15/18
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
15Details of spraying plant or spraying apparatus not otherwise provided for; Accessories
14Arrangements for preventing or controlling structural damage to spraying apparatus or its outlets, e.g. for breaking at desired places; Arrangements for handling or replacing damaged parts
18for improving resistance to wear, e.g. inserts or coatings; for indicating wear; for handling or replacing worn parts
B05B 7/1486
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
7Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas
14designed for spraying particulate materials
1481Spray pistols or apparatus for discharging particulate material
1486for spraying particulate material in dry state
B24C 1/003
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
24GRINDING; POLISHING
CABRASIVE OR RELATED BLASTING WITH PARTICULATE MATERIAL
1Methods for use of abrasive blasting for producing particular effects; Use of auxiliary equipment in connection with such methods
003using material which dissolves or changes phase after the treatment, e.g. ice, CO2
B24C 5/04
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
24GRINDING; POLISHING
CABRASIVE OR RELATED BLASTING WITH PARTICULATE MATERIAL
5Devices or accessories for generating abrasive blasts
02Blast guns, e.g. for generating high velocity abrasive fluid jets for cutting materials
04Nozzles therefor
出願人
  • 株式会社ユーテック YOUTEC CO., LTD. [JP/JP]; 千葉県流山市西平井956番地の1 956-1, Nishi-hirai, Nagareyama-shi, Chiba 2700156, JP
発明者
  • 氏家 敦 UJIIE Tsutomu; JP
  • 本多 祐二 HONDA Yuuji; JP
代理人
  • 柳瀬 睦肇 YANASE Mutsuyasu; 東京都新宿区高田馬場1丁目32番14号 UKビル8階 進歩国際特許事務所 PATENT ATTORNEYS SHINPO, 8th Floor, UK Building, 1-32-14, Takadanobaba, Shinjuku-ku, Tokyo 1690075, JP
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) NOZZLE, CLEANING APPARATUS AND CLEANING METHOD
(FR) BUSE, APPAREIL ET PROCÉDÉ DE NETTOYAGE
(JA) ノズル、洗浄装置及び洗浄方法
要約
(EN)
[Problem] To suppress metal contamination that occurs, after cleaning, on a cleaned surface of a substrate due to scraping of a nozzle path inner wall. [Solution] According to one embodiment of the present invention, a nozzle (11) from which CO2 particles are to be jetted to a substrate is characterized in that a hard film having a Vickers hardness of Hv 1,000-5,000 is formed on an inner wall of the nozzle (11).
(FR)
L'objet de la présente invention est d'éliminer la contamination du métal qui se produit, après nettoyage, sur la surface nettoyée d'un substrat, ladite contamination étant due au raclage d'une paroi intérieure d'un canal d'écoulement de buse. La solution selon l'invention porte sur une buse (11) à partir de laquelle des particules de CO2 doivent être éjectées sur un substrat, caractérisée en ce qu'un film dur ayant une dureté Vickers de 1000 à 15000 Hv est formé sur une paroi intérieure de la buse (11).
(JA)
【課題】ノズルの経路内壁が削られることによって生ずる金属汚染が洗浄後の基板の洗浄面に発生することを抑制する。 【解決手段】本発明の一態様は、基板にCO2粒子を噴出させるノズル(11)において、前記ノズルの内壁にはHv1000~5000のビッカース硬さを有する硬質膜が形成されていることを特徴とするノズル(11)である。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報