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1. WO2015020155 - フッ化メタンの製造方法

公開番号 WO/2015/020155
公開日 12.02.2015
国際出願番号 PCT/JP2014/070906
国際出願日 07.08.2014
IPC
C07C 17/093 2006.01
C化学;冶金
07有機化学
C非環式化合物または炭素環式化合物
17ハロゲン化された炭化水素の製造
093ハロゲンによる置換によるもの
C07C 19/08 2006.01
C化学;冶金
07有機化学
C非環式化合物または炭素環式化合物
19ハロゲン原子を含有する非環式飽和化合物
08フッ素を含有するもの
CPC
C07C 17/07
CCHEMISTRY; METALLURGY
07ORGANIC CHEMISTRY
CACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
17Preparation of halogenated hydrocarbons
07by addition of hydrogen halides
C07C 17/093
CCHEMISTRY; METALLURGY
07ORGANIC CHEMISTRY
CACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
17Preparation of halogenated hydrocarbons
093by replacement by halogens
C07C 17/361
CCHEMISTRY; METALLURGY
07ORGANIC CHEMISTRY
CACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
17Preparation of halogenated hydrocarbons
361by reactions involving a decrease in the number of carbon atoms
出願人
  • ダイキン工業株式会社 DAIKIN INDUSTRIES, LTD. [JP/JP]; 大阪府大阪市北区中崎西2丁目4番12号 梅田センタービル Umeda Center Building, 4-12, Nakazaki-Nishi 2-Chome, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5308323, JP
発明者
  • 中村 新吾 NAKAMURA, Shingo; null
  • 福本 可奈子 FUKUMOTO, Kanako; null
  • 江藤 友亮 ETOU, Yuusuke; null
  • 大塚 達也 OHTSUKA, Tatsuya; null
  • 東 昌弘 HIGASHI, Masahiro; null
代理人
  • 特許業務法人三枝国際特許事務所 SAEGUSA & PARTNERS; 大阪府大阪市中央区道修町1-7-1 北浜TNKビル Kitahama TNK Building, 1-7-1, Doshomachi, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka 5410045, JP
優先権情報
2013-16691909.08.2013JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) METHOD FOR MANUFACTURING METHYL FLUORIDE
(FR) PROCÉDÉ DE PRÉPARATION DE FLUORURE DE MÉTHYLE
(JA) フッ化メタンの製造方法
要約
(EN)
 The purpose of the present invention is to provide a method for manufacturing methyl fluoride useful as a dry etching gas or the like, as a method more suitable for commercial production. As a solution thereof, provided is a method for manufacturing methyl fluoride (CH3F) by reacting in a liquid phase (A) dimethyl sulfuric acid, and (B) at least one type selected from the group consisting of hydrogen fluoride and hydrofluoric acid salt, or a fluoride metal salt as a fluoride compound, the method being characterized in that the reaction is carried out without a solvent or using a polar solvent as the solvent when the fluoride compound (B) contains hydrogen fluoride or hydrofluoric acid salt, and the reaction is carried out using water as the solvent when the fluoride compound (B) is a fluoride metal salt.
(FR)
 La présente invention vise à fournir un procédé de préparation de fluorure de méthyle, utile en tant que gaz de gravure à sec ou analogues, en tant que procédé convenant mieux à une production industrielle. Pour atteindre ce but, un procédé est mis à disposition pour la préparation de fluorure de méthyle (CH3F) par réaction, en phase liquide (A), d'acide diméthylsulfurique, et (B) d'au moins un type choisi dans le groupe consistant en le fluorure d'hydrogène et un sel de l'acide fluorhydrique, ou un sel fluorure métallique en tant que composé fluorure, le procédé étant caractérisé en ce que la réaction est mise en œuvre sans solvant ou par utilisation d'un solvant polaire en tant que solvant quand le composé fluorure (B) contient du fluorure d'hydrogène ou un sel de l'acide fluorhydrique, et la réaction est mise en œuvre par utilisation d'eau en tant que solvant quand le composé fluorure (B) est un sel fluorure métallique.
(JA)
 本発明は、ドライエッチングガス等として有用なフッ化メタンの製造方法として、工業的生産により適した方法を提供することを課題とする。 その解決手段として (A)ジメチル硫酸と (B)フッ素化合物として、フッ化水素及びフッ酸塩からなる群より選択される少なくとも一種、又はフッ化物金属塩 を液相で反応させることによりフッ化メタン(CH3F)を製造する方法であって: 前記フッ素化合物(B)がフッ化水素又はフッ酸塩を含む場合に無溶媒で、又は溶媒として極性溶媒を用い、かつ 前記フッ素化合物(B)がフッ化物金属塩である場合に溶媒として水を用いて反応させることを特徴とする方法を提供する。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報