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1. WO2015020089 - 水平多関節ロボットおよび水平多関節ロボットの製造方法

公開番号 WO/2015/020089
公開日 12.02.2015
国際出願番号 PCT/JP2014/070736
国際出願日 06.08.2014
IPC
B25J 9/06 2006.01
B処理操作;運輸
25手工具;可搬型動力工具;手工具用の柄;作業場設備;マニプレータ
Jマニプレータ;マニプレータ装置を持つ小室
9プログラム制御マニプレータ
06多関節の腕により特徴づけられるもの
B65G 49/07 2006.01
B処理操作;運輸
65運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い
G運搬または貯蔵装置,例.荷積みまたは荷あげ用コンベヤ;作業場コンベヤシステムまたは気体式チューブコンベヤ
49他の分類に属せず,特殊な目的に適用されることを特徴とする移送装置
05もろい,または損傷性材料または物品用のもの
07半導体ウェハーのためのもの
H01L 21/677 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
CPC
B25J 11/0095
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
11Manipulators not otherwise provided for
0095Manipulators transporting wafers
B25J 9/042
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
9Programme-controlled manipulators
02characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
04by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
041Cylindrical coordinate type
042comprising an articulated arm
H01L 21/67766
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
677for conveying, e.g. between different workstations
67763the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
67766Mechanical parts of transfer devices
出願人
  • 日本電産サンキョー株式会社 NIDEC SANKYO CORPORATION [JP/JP]; 長野県諏訪郡下諏訪町5329番地 5329, Shimosuwa-machi, Suwa-gun, Nagano 3938511, JP
発明者
  • 北原 康行 KITAHARA, Yasuyuki; JP
  • 風間 俊道 KAZAMA, Toshimichi; JP
  • 栗林 保 KURIBAYASHI, Tamotsu; JP
  • 齋地 正義 SAICHI, Masayoshi; JP
優先権情報
2013-24702629.11.2013JP
2013-24702929.11.2013JP
61/864,27209.08.2013US
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) HORIZONTAL MULTI-JOINT ROBOT AND PRODUCTION METHOD FOR HORIZONTAL MULTI-JOINT ROBOT
(FR) ROBOT HORIZONTAL À ARTICULATIONS MULTIPLES ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION POUR ROBOT HORIZONTAL À ARTICULATIONS MULTIPLES
(JA) 水平多関節ロボットおよび水平多関節ロボットの製造方法
要約
(EN)
Provided is a horizontal multi-joint robot that has an arm that moves in the horizontal direction and that can be installed so that a hand moves accurately in the horizontal direction with ease in a relatively short amount of time. The horizontal multi-joint robot (1) that has an arm (6) that moves in the horizontal direction is provided with: hands (4, 5) on which an object to be conveyed is mounted; the arm (6), which comprises at least two arm sections, namely, a hand-side arm section (18) having the hands (4, 5) rotatably connected to the tip side thereof and a second hand-side arm section (17) having the base end of the hand-side arm section (18) rotatably connected to the tip side thereof; a main body section (7) having the base end side of the arm (6) rotatably connected thereto; and a level (23) that is attached to the main body section (7). The level (23) is attached to the main body section (7) after the inclination thereof is adjusted with respect to at least the vertical direction of the central axis of rotation of the hand-side arm section (18) with respect to the second hand-side arm section (17).
(FR)
La présente invention concerne un robot horizontal à articulations multiples présentant un bras qui se déplace dans la direction horizontale et qui peut être installé de sorte qu'un bras se déplace avec précision dans la direction horizontale de manière aisée en un temps relativement court. Le robot horizontal à articulations multiples (1) qui présente un bras (6) qui se déplace dans la direction horizontale est pourvu : de mains (4, 5) sur lesquelles un objet à transporter est monté ; du bras (6), qui comprend au moins deux sections bras, à savoir, une section bras côté main (18) dont les mains (4, 5) sont raccordées en rotation à son côté pointe et une seconde section bras côté main (17) dont l'extrémité de base de la section bras côté main (18) est raccordée en rotation à son côté pointe ; d'une section corps principal (7) auquel le côté d'extrémité de base du bras (6) est raccordé en rotation ; et d'un niveau (23) qui est fixé à la section corps principal (7). Le niveau (23) est fixé à la section corps principal (7) après que son inclinaison est réglée par rapport à au moins la direction verticale de l'axe central de rotation de la section bras côté main (18) par rapport à la seconde section bras côté main (17).
(JA)
水平方向にアームが動作する水平多関節ロボットにおいて、比較的短時間で容易に、かつ、水平方向へハンドが精度良く動作するように設置することが可能な水平多関節ロボットを提供する。水平方向にアーム(6)が動作する水平多関節ロボット(1)は、搬送対象物が搭載されるハンド(4、5)と、ハンド(4、5)がその先端側に回動可能に連結されるハンド側アーム部(18)とハンド側アーム部(18)の基端側がその先端側に回動可能に連結される第2ハンド側アーム部(17)との少なくとも2個のアーム部を有するアーム(6)と、アーム(6)の基端側が回動可能に連結される本体部(7)と、本体部(7)に取り付けられた水準器(23)とを備えている。水準器(23)は、少なくとも第2ハンド側アーム部(17)に対するハンド側アーム部(18)の回動中心軸の鉛直方向に対する傾きが調整された後に、本体部(7)に取り付けられている。
他の公開
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