処理中

しばらくお待ちください...

設定

設定

1. WO2015019978 - 焦点調節方法およびその装置

公開番号 WO/2015/019978
公開日 12.02.2015
国際出願番号 PCT/JP2014/070432
国際出願日 04.08.2014
予備審査請求日 04.06.2015
IPC
G02B 7/28 2006.01
G物理学
02光学
B光学要素,光学系,または光学装置
7光学要素用のマウント,調節手段,または光密結合
28焦点調節信号の自動発生用のシステム
G03B 15/00 2006.01
G物理学
03写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
B写真を撮影するためのまたは写真を投影もしくは直視するための装置または配置;光波以外の波を用いる類似技術を用いる装置または配置;そのための付属品
15写真撮影をする特殊方法;その装置
H04N 5/232 2006.01
H電気
04電気通信技術
N画像通信,例.テレビジョン
5テレビジョン方式の細部
222スタジオ回路;スタジオ装置;スタジオ機器
225テレビジョンカメラ
232テレビジョンカメラを調整するための装置,例.遠隔制御
CPC
G01B 11/272
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
26for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
27for testing the alignment of axes
272using photoelectric detection means
G02B 7/38
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
7Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
28Systems for automatic generation of focusing signals
36using image sharpness techniques ; , e.g. image processing techniques for generating autofocus signals
38measured at different points on the optical axis ; , e.g. focussing on two or more planes and comparing image data
G06F 3/041
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
3Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
01Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
03Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
041Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
G06K 2009/4666
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
KRECOGNITION OF DATA; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
9Methods or arrangements for reading or recognising printed or written characters or for recognising patterns, e.g. fingerprints
36Image preprocessing, i.e. processing the image information without deciding about the identity of the image
46Extraction of features or characteristics of the image
4666regional/local feature not essentially salient, e.g. local binary pattern
G06K 9/46
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
KRECOGNITION OF DATA; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
9Methods or arrangements for reading or recognising printed or written characters or for recognising patterns, e.g. fingerprints
36Image preprocessing, i.e. processing the image information without deciding about the identity of the image
46Extraction of features or characteristics of the image
G06T 2207/30148
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
2207Indexing scheme for image analysis or image enhancement
30Subject of image; Context of image processing
30108Industrial image inspection
30148Semiconductor; IC; Wafer
出願人
  • 武蔵エンジニアリング株式会社 MUSASHI ENGINEERING, INC. [JP/JP]; 東京都三鷹市井口1-11-6 1-11-6, Iguchi, Mitaka-shi, Tokyo 1810011, JP
発明者
  • 生島 和正 IKUSHIMA, Kazumasa; JP
代理人
  • 須藤 阿佐子 SUDO, Asako; JP
優先権情報
2013-16715109.08.2013JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) FOCUS ADJUSTMENT METHOD AND DEVICE THEREFOR
(FR) PROCÉDÉ DE MISE AU POINT ET DISPOSITIF ASSOCIÉ
(JA) 焦点調節方法およびその装置
要約
(EN)
[Problem] To provide a focus adjustment method and a device therefor which are capable of focusing automatically on a feature point of an arbitrary object selected from within an image in which objects of various shapes have been reproduced. [Solution] A focus adjustment method using a work device which comprises: a work table on which a substrate is placed; an image capture device which does not have an autofocus function; an XYZ drive device which moves the work table and the image capture device relative to one another; a storage device which stores images captured by the image capture device; a display device which displays an image display region; an input device with which it is possible to specify an arbitrary position within the image display region; a focus determination device which performs image processing on the plurality of captured images that have been stored by the storage device, and determines a focused image on the basis of the contrast of the captured images; and a control device which controls the operations of the image capture device and the XYZ drive device. The present invention comprises the focus adjustment method and the device therefor, said method having: a first step for acquiring a part captured image in which a part of the substrate has been captured by the image capture device, and displaying the part capture image in the image display region that has a plurality of divided regions; a second step for performing focused image determination on one divided region selected by a user via the input device, said focused image determination being performed by the focus determination device; and a third step for displaying the captured image that has been determined as the focused image, said captured image being displayed in the image display region.
(FR)
L'invention concerne un procédé de mise au point et un dispositif associé, qui permettent d'effectuer automatiquement une mise au point sur un point caractéristique d'un objet arbitraire, sélectionné dans une image dans laquelle des objets de formes diverses ont été reproduits. L'invention concerne un procédé de mise au point utilisant un dispositif de travail, qui comprend : une table de travail, sur laquelle un substrat est placé ; un dispositif de capture d'image dépourvu de fonction de mise au point automatique ; un dispositif d'entraînement dans les axes XYZ, qui déplace la table de travail et le dispositif de capture d'image l'un(e) par rapport à l'autre ; un dispositif de stockage, qui stocke les images capturées par le dispositif de capture d'image ; un dispositif d'affichage, qui affiche une région d'affichage d'image ; un dispositif d'entrée, qui permet de spécifier une position arbitraire dans la région d'affichage d'image ; un dispositif de détermination de mise au point, qui met en oeuvre un traitement d'image sur la pluralité des images capturées ayant été stockées par le dispositif de stockage d'images, et détermine une image mise au point sur la base du contraste des images capturées ; et un dispositif de commande, qui commande les opérations du dispositif de capture d'image et du dispositif d'entraînement dans les axes XYZ. La présente invention comprend le procédé de mise au point et le dispositif associé. Le procédé consiste à : dans une première étape, acquérir une image de partie capturée, cette étape consistant à faire capturer une partie du substrat par le dispositif de capture d'image, et afficher l'image capturée de ladite partie dans la région d'affichage d'image, qui comporte une pluralité de régions divisées ; dans une deuxième étape, déterminer une image mise au point sur une région divisée, sélectionnée par un utilisateur au moyen du dispositif d'entrée, ladite détermination d'image mise au point étant mise en oeuvre par le dispositif de détermination de mise au point ; et, dans une troisième étape, afficher l'image capturée ayant été déterminée en tant qu'image mise au point, ladite image capturée étant affichée dans la région d'affichage d'image.
(JA)
課題:様々な形状の物体が映し出された画像の中から選択した任意の物体の特徴点に自動で焦点を合わせることができる、焦点調節方法およびその装置の提供。 解決手段:基板が載置されるワークテーブルと、オートフォーカス機能を有しない撮像装置と、ワークテーブルと撮像装置とを相対移動させるXYZ駆動装置と、撮像装置が撮像した画像を記憶する記憶装置と、画像表示領域を表示する表示装置と、画像表示領域内の任意の位置を指定可能とする入力装置と、記憶装置に記憶した複数枚の撮像画像に画像処理を実施し、各撮像画像のコントラストに基づき合焦画像を判定する合焦判定装置と、撮像装置およびXYZ駆動装置の動作を制御する制御装置とを備える作業装置を用いた焦点調節方法であって、撮像装置により基板の部分を撮像した部分撮像画像を取得し、複数の分割領域を有する画像表示領域に表示させる第1ステップ、入力装置を介してユーザが選択した一つの分割領域に対して、合焦判定装置により合焦画像判定をする第2ステップ、合焦画像と判定された撮像画像を画像表示領域に表示する第3ステップ、を有する焦点調節方法およびその装置。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報