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1. WO2015019923 - マイクロコンタクトプリント用スタンパ、及びこれを用いた構造体の製造方法

公開番号 WO/2015/019923
公開日 12.02.2015
国際出願番号 PCT/JP2014/070086
国際出願日 30.07.2014
IPC
H01L 21/027 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
027その後のフォトリソグラフィック工程のために半導体本体にマスクするもので,グループH01L21/18またはH01L21/34に分類されないもの
B41N 1/12 2006.01
B処理操作;運輸
41印刷;線画機;タイプライター;スタンプ
N印刷版またはフォイル(感光性材料G03);印刷,インキ付け,湿し等,印刷機に使用される表面用材料;その表面の使用準備または保存
1印刷版またはフォイル;その材料
12石以外の非金属
CPC
B41N 1/12
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
NPRINTING PLATES OR FOILS
1Printing plates or foils; Materials therefor
12non-metallic other than stone ; , e.g. printing plates or foils comprising inorganic materials in an organic matrix
B82Y 30/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
82NANOTECHNOLOGY
YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
30Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
G03F 7/0002
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR;
7Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
0002Lithographic processes using patterning methods other than those involving the exposure to radiation, e.g. by stamping
出願人
  • 綜研化学株式会社 SOKEN CHEMICAL & ENGINEERING CO., LTD. [JP/JP]; 東京都豊島区高田3丁目29番5号 29-5, Takada 3-chome, Toshima-ku, Tokyo 1718531, JP
発明者
  • 小島 綾太 KOJIMA, Ryota; JP
代理人
  • SK特許業務法人 SK INTELLECTUAL PROPERTY LAW FIRM; 東京都渋谷区鶯谷町12-5 大芦ビル2階 Ooashi-Building 2nd Floor, 12-5, Uguisudani-cho, Shibuya-ku, Tokyo 1500032, JP
優先権情報
2013-16617109.08.2013JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) STAMPER FOR MICROCONTACT PRINTING AND METHOD FOR PRODUCING STRUCTURE USING SAME
(FR) TAMPON POUR UNE IMPRESSION PAR MICROCONTACT ET PROCÉDÉ D'OBTENTION D'UNE STRUCTURE À L'AIDE DE CETTE DERNIÈRE
(JA) マイクロコンタクトプリント用スタンパ、及びこれを用いた構造体の製造方法
要約
(EN)
Provided is a stamper for microcontact printing, which is applicable to two or more kinds of ink having different polarities. The present invention provides a stamper for microcontact printing, which is provided, on a resin layer that has a recessed and projected pattern, with a non-porous coating film that covers at least the projected parts of the recessed and projected pattern and contains an inorganic material and/or an inorganic oxide.
(FR)
L'invention concerne un tampon pour une impression par microcontact, ce qui peut être appliqué à au moins deux types d'encres ayant différentes polarités. La présente invention concerne un tampon, pour une impression par microcontact, qui est utilisé sur une couche de résine qui présente un motif renfoncé et en saillie, ayant un film de revêtement non poreux qui recouvre au moins les parties en saillie du motif renfoncé et en saillie et qui contient un matériau inorganique et/ou un oxyde inorganique.
(JA)
 極性の異なる2種以上のインクに適用可能なマイクロコンタクトプリント用スタンパを提供する。 本発明によれば、凹凸形状を有する樹脂層上に、前記凹凸形状の凸部を少なくとも覆い且つ無機物と無機酸化物の少なくとも一方を含む非多孔性の被覆膜を備えるマイクロコンタクトプリント用スタンパが提供される。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報