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1. WO2015019864 - 支持用エアプレートおよびその気体流抵抗器

公開番号 WO/2015/019864
公開日 12.02.2015
国際出願番号 PCT/JP2014/069651
国際出願日 25.07.2014
IPC
B65G 49/06 2006.01
B処理操作;運輸
65運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い
G運搬または貯蔵装置,例.荷積みまたは荷あげ用コンベヤ;作業場コンベヤシステムまたは気体式チューブコンベヤ
49他の分類に属せず,特殊な目的に適用されることを特徴とする移送装置
05もろい,または損傷性材料または物品用のもの
06もろい薄板状材料,例.ガラス板,用のもの
B65G 51/03 2006.01
B処理操作;運輸
65運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い
G運搬または貯蔵装置,例.荷積みまたは荷あげ用コンベヤ;作業場コンベヤシステムまたは気体式チューブコンベヤ
51流体の流れまたは圧力によるパイプまたはチューブ中での物品の運搬;平らな面上,例.樋の底部上で,物品をその面に位置しているジェットによる運搬
02ガスの流れによって,物品,例.伝票,シート,ストッキング,コンテナまたはワークを直接運搬するもの
03平担面上またはトラフ内
H01L 21/677 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
CPC
B65G 2249/045
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
2249Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
04Arrangements of vacuum systems or suction cups
045Details of suction cups suction cups
B65G 49/065
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
49Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
05for fragile or damageable materials or articles
06for fragile sheets, e.g. glass
063Transporting devices for sheet glass
064in a horizontal position
065supported partially or completely on fluid cushions, e.g. a gas cushion
B65G 51/03
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
51Conveying articles through pipes or tubes by fluid flow or pressure; Conveying articles over a flat surface, e.g. the base of a trough, by jets located in the surface
02Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases
03over a flat surface or in troughs
H01L 21/67784
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
677for conveying, e.g. between different workstations
67784using air tracks
出願人
  • オイレス工業株式会社 OILES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区港南一丁目2番70号 2-70, Konan 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1080075, JP
発明者
  • 角田 耕一 TSUNODA, Kouichi; JP
  • 安田 貴裕 YASUDA, Takahiro; JP
  • 伊藤 彰彦 ITO, Akihiko; JP
  • 小澤 秀夫 OZAWA, Hideo; JP
代理人
  • 特許業務法人ウィルフォート国際特許事務所 WILLFORT INTERNATIONAL PATENT FIRM; 東京都中央区日本橋小網町19-7 日本橋TCビル 1階 Nihonbashi TC Bldg. 1F, 19-7, Nihonbashi Koamicho, Chuo-ku, Tokyo 1030016, JP
優先権情報
2013-16571909.08.2013JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) SUPPORTING AIR PLATE AND GAS FLOW RESISTOR THEREFOR
(FR) PLAQUE À AIR DE SUPPORT ET RÉSISTANCE À L'ÉCOULEMENT DE GAZ POUR CETTE DERNIÈRE
(JA) 支持用エアプレートおよびその気体流抵抗器
要約
(EN)
Provided is a technology that eases stress imparted to an object by a gas flow. This supporting air plate has a support surface, forms a compressed gas layer between the support surface and a supported object, and supports the supported object in a state in which said object does not touch the support surface. The supporting air plate has: gas flow resistors that emit a supplied gas flow after applying a prescribed channel resistance thereto; a first perforated plate-shaped section having a plurality of first gas supply holes to which a plurality of gas flow resistors are detachably mounted; a second perforated plate-shaped section that is adjacent to the support surface side of the first perforated plate-shaped section and has, at positions corresponding to the first gas supply holes, second gas supply holes which overlap a portion of the first gas supply holes, communicate with the first gas supply holes, and discharge the gas flow towards the compressed gas layer; and a gas flow opposing surface that is located at the boundary between the first perforated plate-shaped section and the second perforated plate-shaped section, and changes the direction of the gas flow emitted by the gas flow resistors and guides the gas flow in a direction that is different from the direction of the gas flow in the second gas supply holes.
(FR)
L'invention concerne une technologie qui réduit des contraintes communiquées à un objet par un écoulement de gaz. L'invention concerne donc une plaque à air de support qui possède une surface de support, qui forme une couche de gaz comprimé entre la surface de support et un objet porté, et qui porte l'objet porté dans un état dans lequel ledit objet ne touche pas la surface de support. La plaque à air de support possède : des résistances à l'écoulement de gaz qui émettent un écoulement de gaz distribué après l'application d'une résistance de canal prescrite à ce dernier; une première section en forme de plaque perforée ayant une pluralité de premiers trous de distribution de gaz sur laquelle une pluralité de résistances à l'écoulement de gaz sont montées de façon détachable; une seconde section en forme de plaque perforée, qui est adjacente au côté de surface de support de la première section en forme de plaque perforée, et qui possède, à des emplacements correspondant aux premiers trous de distribution de gaz, des seconds trous de distribution de gaz qui chevauchent une partie des premiers trous de distribution de gaz, qui communiquent avec les premiers trous de distribution de gaz, et qui évacuent l'écoulement de gaz vers la couche de gaz comprimé; une surface d'opposition à l'écoulement de gaz, qui est disposée au niveau de la limite entre la première section en forme de plaque perforée et la seconde section en forme de plaque perforée, et qui change la direction de l'écoulement de gaz émis par les résistances à l'écoulement de gaz et qui guide l'écoulement de gaz dans une direction qui est différente de la direction de l'écoulement de gaz dans les seconds trous de distribution de gaz.
(JA)
 気体流による対象物へのストレスを緩和する技術を提供する。 支持用エアプレートは、支持面を有し、支持面と支持対象物との間に圧縮気体層を形成し、支持対象物を支持面と非接触の状態で支持する支持用エアプレートであって、供給される気体流に所定の流路抵抗を加えて送出する気体流抵抗器と、複数の気体流抵抗器が取り外し可能に装着される複数の第1気体供給孔を有する第1有孔板状部と、第1有孔板状部の支持面側に隣接し、第1気体供給孔に対応する位置に、第1気体供給孔の一部と重なって第1気体供給孔と連通し、気体流を圧縮気体層に向かって噴出する第2気体供給孔を有する第2有孔板状部と、気体流抵抗器によって送出された気体流の方向を変化させ、第2気体供給孔の気体流の方向と異なる方向に誘導する、第1有孔板状部と第2の有孔板状部との境界部に位置する気体流対向面と、を有している。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報