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1. WO2015019589 - 力学量センサ

公開番号 WO/2015/019589
公開日 12.02.2015
国際出願番号 PCT/JP2014/004039
国際出願日 01.08.2014
IPC
G01L 9/00 2006.01
G物理学
01測定;試験
L力,応力,トルク,仕事,機械的動力,機械的効率,または流体圧力の測定
9電気的または磁気的感圧素子による流体または流動性固体の定常圧または準定常圧の測定;流体または流動性固体の定常圧または準定常圧の測定に用いられる機械的感圧素子の変位の電気的または磁気的手段による伝達または指示
H01L 29/84 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
29整流,増幅,発振またはスイッチングに特に適用される半導体装置であり,少なくとも1つの電位障壁または表面障壁を有するもの;少なくとも1つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合空乏層またはキャリア集中層,を有するコンデンサーまたは抵抗器;半導体本体または電極の細部
66半導体装置の型
84外からの機械的力,例.圧力,の変化によって制御可能なもの
CPC
G01L 9/0042
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
9Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements
0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
0042Constructional details associated with semiconductive diaphragm sensors, e.g. etching, or constructional details of non-semiconductive diaphragms
G01L 9/0054
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
9Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements
0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
0051using variations in ohmic resistance
0052of piezoresistive elements
0054integral with a semiconducting diaphragm
出願人
  • 株式会社デンソー DENSO CORPORATION [JP/JP]; 愛知県刈谷市昭和町1丁目1番地 1-1, Showa-cho, Kariya-city, Aichi 4488661, JP
発明者
  • 河野 高博 KAWANO, Takahiro; JP
  • 勝間田 卓 KATSUMATA, Takashi; JP
  • 与倉 久則 YOKURA, Hisanori; JP
  • 尾添 祥司 OZOE, Shoji; JP
  • 田中 宏明 TANAKA, Hiroaki; JP
代理人
  • 金 順姫 KIN, Junhi; JP
優先権情報
2013-16341806.08.2013JP
2014-10069414.05.2014JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) DYNAMIC QUANTITY SENSOR
(FR) CAPTEUR DE QUANTITÉ DYNAMIQUE
(JA) 力学量センサ
要約
(EN)
A dynamic quantity sensor is provided with a first substrate (10) having a first surface (10a), a second surface (10b) on the side opposite from the first surface, and a recess (15, 42) that constitutes a thin portion (15a) on the first surface side and with a second substrate (20) having a first surface (20a) joined to the first surface of the first substrate and a cavity (20c) that constitutes a sealed space (30) between the first substrate and the second substrate at a portion of the first surface that opposes the recess. The cavity is such that at least a portion of first projection lines (P1) projected from the opening ends of the cavity to the first surface of the first substrate are positioned outside of second projection lines (P2) projected from the boundary lines between the side walls of the recess and the thin portion to the first surface of the first substrate. The first substrate is such that a portion of the thin portion that is positioned inside of the opening ends of the cavity is made to be a thin-film portion (18) that is displaced according to a physical quantity and the areas between the thin-film portion and the portions connected to the opening ends of the cavity are made to be stress relaxation areas (19).
(FR)
L'invention concerne un capteur de quantité dynamique comportant un premier substrat (10) ayant une première surface (10a), une deuxième surface (10b) du côté opposé par rapport à la première surface, et un évidement (15, 42) qui constitue une partie mince (15a) du côté de la première surface et un deuxième substrat (20) ayant une première surface (20a) jointe à la première surface du premier substrat et une cavité (20c) qui constitue un espace scellé (30) entre le premier substrat et le deuxième substrat au niveau d'une partie de la première surface qui est à l'opposé de l'évidement. La cavité est telle qu'au moins une partie de premières lignes de projection (P1) projetées depuis les extrémités d'ouverture de la cavité jusqu'à la première surface du premier substrat sont positionnées à l'extérieur des deuxièmes lignes de projection (P2) projetées depuis les lignes limites entre les parois latérales de l'évidement et la partie mince sur la première surface du premier substrat. Le premier substrat est tel qu'une partie de la partie mince qui est positionnée à l'intérieur des extrémités d'ouverture de la cavité est réalisée pour être une partie de film mince (18) qui est déplacée en fonction d'une quantité physique et les zones entre la partie de film mince et les parties connectées aux extrémités d'ouverture de la cavité sont réalisées pour être des zones de relaxation des contraintes (19).
(JA)
 力学量センサは、一面(10a)および一面と反対側の他面(10b)を有し、一面側に薄肉部(15a)を構成する凹部(15、42)が形成された第1基板(10)と、第1基板の一面と接合される一面(20a)を有し、一面のうち凹部と対向する部分に、第1基板との間に封止空間(30)を構成する窪み部(20c)が形成された第2基板(20)と、を備える。窪み部は、当該窪み部における開口端を第1基板の一面に投影した第1投影線(P1)が凹部の側壁と薄肉部との境界線を第1基板の一面に投影した第2投影線(P2)の外側に少なくとも一部が位置する。第1基板は、薄肉部のうち窪み部の開口端の内側に位置する部分が物理量に応じて変位する薄膜部(18)とされ、薄膜部と窪み部の開口端と接続される部分との間の領域が応力緩和領域(19)とされている。
他の公開
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