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1. WO2015019460 - 飛行時間型質量分析装置

公開番号 WO/2015/019460
公開日 12.02.2015
国際出願番号 PCT/JP2013/071465
国際出願日 08.08.2013
IPC
H01J 49/06 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
49粒子分光器または粒子分離管
02細部
06電子光学的またはイオン光学的装置
H01J 49/40 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
49粒子分光器または粒子分離管
26質量分光器または質量分離管
34動的分光器
40飛行時間型分光器
CPC
H01J 49/061
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
49Particle spectrometers or separator tubes
02Details
06Electron- or ion-optical arrangements
061Ion deflecting means, e.g. ion gates
H01J 49/401
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
49Particle spectrometers or separator tubes
26Mass spectrometers or separator tubes
34Dynamic spectrometers
40Time-of-flight spectrometers
401characterised by orthogonal acceleration, e.g. focusing or selecting the ions, pusher electrode
出願人
  • 株式会社島津製作所 SHIMADZU CORPORATION [JP/JP]; 京都府京都市中京区西ノ京桑原町1番地 1, Nishinokyo-Kuwabara-cho, Nakagyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6048511, JP
発明者
  • 奥村 大輔 OKUMURA, Daisuke; JP
代理人
  • 特許業務法人京都国際特許事務所 KYOTO INTERNATIONAL PATENT LAW OFFICE; 京都府京都市下京区東洞院通四条下ル元悪王子町37番地 豊元四条烏丸ビル Hougen-Sizyokarasuma Building, 37, Motoakuozi-tyo, Higasinotouin Sizyo-sagaru, Simogyo-ku, Kyoto-si, Kyoto 6008091, JP
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) TIME-OF-FLIGHT MASS-SPECTROMETER
(FR) SPECTROMÈTRE DE MASSE À TEMPS DE VOL
(JA) 飛行時間型質量分析装置
要約
(EN)
A beam-shaping ion optical system (3) sending ions to an orthogonal acceleration unit is provided with slit plates (31,32) having a plurality of slit openings (31a to 31c, 32a to 32c) whereof the width is narrow in the acceleration direction (Z-axis direction) of the orthogonal acceleration unit, and, disposed in the stage following the slit plate (31), a deflection electrode comprising a separation wall part (33) and an electrode (35), and a deflection electrode comprising a separation wall part (34) and an electrode (36). In a high-sensitivity mode, no voltage is applied to the deflection electrodes, and ions passing through the slit openings (31a, 32a) and the slit openings (31c, 32c) are emitted. While ion-spreading in the Z-axis direction becomes large, decreasing the mass-resolving power, this allows for a high-sensitivity measurement by supplying a large amount of ions for mass spectrometry. In a high-resolution mode, a voltage is applied to the deflection electrodes, and ions passing through the slit openings (31a, 31c) are deflected and blocked. While the sensitivity decreases, this allows a high mass-resolving power to be achieved by limiting ion-spreading in the Z-axis direction.
(FR)
Selon la présente invention, un système optique de mise en forme de faisceau d'ions (3) envoyant des ions à une unité d'accélération orthogonale est pourvu de plaques à fentes (31, 32) présentant une pluralité d'ouvertures fendues (31a à 31c, 32a à 32c) dont la largeur est étroite dans la direction d'accélération (direction de l'axe Z) de l'unité d'accélération orthogonale, et, disposées dans l'étage suivant la plaque à fentes (31), d'une électrode de déviation comportant une partie paroi de séparation (33) et une électrode (35), et d'une électrode de déviation comportant une partie paroi de séparation (34) et une électrode (36). Dans un mode haute sensibilité, aucune tension n'est appliquée aux électrodes de déviation, et des ions passant par les ouvertures fendues (31a, 32a) et les ouvertures fendues (31c, 32c) sont émis. Bien qu'un écartement ionique dans la direction de l'axe Z devienne important, réduisant le pouvoir de résolution en masse, ceci permet une mesure à haute sensibilité par fourniture d'une grande quantité d'ions pour une spectrométrie de masse. Dans un mode haute résolution, une tension est appliquée aux électrodes de déviation et des ions passant par les ouvertures fendues (31a, 31c) sont déviés et bloqués. Bien que la sensibilité diminue, ceci permet d'atteindre un haut pouvoir de résolution en masse en limitant l'étalement des ions dans la direction de l'axe Z.
(JA)
 直交加速部にイオンを送り込むビーム形状調整用イオン光学系(3)は、直交加速部での加速方向(Z軸方向)に幅が狭いスリット開口(31a~31c、32a~32c)を複数設けたスリット板(31、32)、スリット板(31)の後段に配置された仕切壁部(33)と電極(35)からなる偏向電極、及び、仕切壁部(34)と電極(36)からなる偏向電極、を備える。高感度モードでは、偏向電極に電圧を印加せず、スリット開口(31a、32a)及びスリット開口(31c、32c)を通過したイオンを出射させる。これにより、Z軸方向にイオンの拡がりは大きくなり質量分解能は下がるものの、多量のイオンを質量分析に供し、高感度測定が可能となる。高分解能モードでは、偏向電極に電圧を印加し、スリット開口(31a、31c)を通過したイオンを偏向させて遮断する。これにより、感度は下がるもののZ軸方向のイオンの拡がりを抑え、高い質量分解能を実現できる。
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