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1. WO2015019242 - 照明装置

公開番号 WO/2015/019242
公開日 12.02.2015
国際出願番号 PCT/IB2014/063537
国際出願日 30.07.2014
IPC
H01L 21/027 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
027その後のフォトリソグラフィック工程のために半導体本体にマスクするもので,グループH01L21/18またはH01L21/34に分類されないもの
G01J 1/42 2006.01
G物理学
01測定;試験
J赤外線,可視光線または紫外線の強度,速度,スペクトル,偏光,位相またはパルスの測定;色の測定;放射温度測定
1測光,例.写真の露出計
42電気的な放射線検出器によるもの
G03F 7/20 2006.01
G物理学
03写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
Fフォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
20露光;そのための装置
H05B 37/02 2006.01
H電気
05他に分類されない電気技術
B電気加熱;他に分類されない電気照明
37電気的光源の回路装置一般
02制御
CPC
G01J 1/0411
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
1Photometry, e.g. photographic exposure meter
02Details
04Optical or mechanical part ; supplementary adjustable parts
0407Optical elements not provided otherwise, e.g. manifolds, windows, holograms, gratings
0411using focussing or collimating elements, i.e. lenses or mirrors; Aberration correction
G01J 1/0414
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
1Photometry, e.g. photographic exposure meter
02Details
04Optical or mechanical part ; supplementary adjustable parts
0407Optical elements not provided otherwise, e.g. manifolds, windows, holograms, gratings
0414using plane or convex mirrors, parallel phase plates, or plane beam-splitters
G01J 1/08
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
1Photometry, e.g. photographic exposure meter
02Details
08Arrangements of light sources specially adapted for photometry ; standard sources, also using luminescent or radioactive material
G01J 1/16
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
1Photometry, e.g. photographic exposure meter
10by comparison with reference light or electric value ; provisionally void
16using electric radiation detectors
G03F 7/70016
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR;
7Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
70Exposure apparatus for microlithography
70008Production of exposure light, i.e. light sources
70016by discharge lamps
G03F 7/7005
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR;
7Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
70Exposure apparatus for microlithography
70008Production of exposure light, i.e. light sources
7005by multiple sources
出願人
  • 株式会社オーク製作所 ORC MANUFACTURING CO., LTD. [JP/JP]; 東京都町田市小山ヶ丘3丁目9番地6 9-6, Oyamagaoka 3-chome, Machida-shi, Tokyo 1940215, JP
発明者
  • 藤森 昭芳 FUJIMORI, Akiyoshi; JP
  • 本多 友彦 HONDA, Tomohiko; JP
代理人
  • 松浦 孝 MATSUURA, Takashi; JP
優先権情報
2013-16655109.08.2013JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) ILLUMINATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'ÉCLAIRAGE
(JA) 照明装置
要約
(EN)
This illumination device comprises: a plurality of light sources which generate illuminating light; a light detection unit which is positioned between the illuminating optical system and the area to be illuminated, and which detects the illumination/intensity of the overall illuminating light provided by the plurality of light sources; and an illumination control unit which performs light emitting control on each of the plurality of light sources. The illumination control unit generates, from the plurality of light sources, measurement illumination light in which the illumination/intensity fluctuates according to the different frequency corresponding to each of the plurality of light sources, and the light detection unit obtains, on the basis of the difference frequencies, the illumination/intensity of the illuminating light which does not include the fluctuation components of each light source, from the overall measuring illuminating light obtained by superimposing the measurement illuminating light from each of the light sources.
(FR)
La présente invention concerne un dispositif d'éclairage comportant: une pluralité de sources lumineuses qui génèrent une lumière d'éclairage; un unité de détection de lumière qui est positionnée entre le système optique éclairant et la zone à éclairer, et qui détecte la luminosité / l'intensité de la lumière globale d'éclairage émise par la pluralité de sources lumineuses; et un unité de commande d'éclairage qui réalise la commande d'émission lumineuse sur chaque source de la pluralité de sources lumineuses. L'unité de commande d'éclairage génère, à partir de la pluralité de sources lumineuses, une lumière d'éclairage de mesure dont la luminosité / l'intensité fluctue selon une fréquence différente correspondant à chaque source de la pluralité de sources lumineuses, et l'unité de détection de lumière obtient, d'après les fréquences différentes, la luminosité / l'intensité de la lumière d'éclairage n'incluant pas les composantes de fluctuation de chaque source lumineuse, à partir de la lumière globale d'éclairage de mesure obtenue par superposition de la lumière d'éclairage de mesure provenant de chacune des sources lumineuses.
(JA)
照明装置は、照明光をそれぞれ発光する複数の光源と、照明光学系と被照射領域との間に配置され、複数の光源による全体照明光の照度/強度を検出する光検出部と、複数の光源それぞれに対し、発光制御を行う照明制御部とを備え、照明制御部が、複数の光源から、複数の光源に対応したそれぞれ異なる周波数に従って照度/強度が変動する計測照明光を、それぞれ発光させ、光検出部が、それぞれ異なる周波数に基づき、各光源の計測照明光を重ねた全体計測照明光から、各光源の変動分を含まない照明光の照度/強度を得る。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報