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1. WO2015016308 - 光源装置

公開番号 WO/2015/016308
公開日 05.02.2015
国際出願番号 PCT/JP2014/070203
国際出願日 31.07.2014
IPC
F21S 2/00 2006.01
F機械工学;照明;加熱;武器;爆破
21照明
S非携帯用の照明装置;そのシステム;車両外部に特に適合する車両照明
2メイングループF21S4/00~F21S10/00またはF21S19/00に分類されない照明装置のシステム,例.モジュール式構造のもの
H01L 21/027 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
027その後のフォトリソグラフィック工程のために半導体本体にマスクするもので,グループH01L21/18またはH01L21/34に分類されないもの
F21Y 101/02 2006.01
F機械工学;照明;加熱;武器;爆破
21照明
Y光源の形状もしくは種類または放射された光の色に関するサブクラスF21K,F21L,F21S,およびF21Vに関連するインデキシング系列
101,,
02,
CPC
G03F 7/2004
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR;
7Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
20Exposure; Apparatus therefor
2002with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image
2004characterised by the use of a particular light source, e.g. fluorescent lamps or deep UV light
G03F 7/201
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR;
7Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
20Exposure; Apparatus therefor
2002with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image
201characterised by an oblique exposure; characterised by the use of plural sources; characterised by the rotation of the optical device; characterised by a relative movement of the optical device, the light source, the sensitive system or the mask
出願人
  • シーシーエス株式会社 CCS INC. [JP/JP]; 京都府京都市上京区烏丸通下立売上ル桜鶴円町374番地 374 Okakuencho, Shimodachiuri-agaru, Karasuma-dori, Kamigyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6028011, JP
発明者
  • 岡本 大輔 OKAMOTO, Daisuke; JP
代理人
  • 西村 竜平 NISHIMURA, Ryuhei; JP
優先権情報
2013-16032901.08.2013JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) LIGHT SOURCE APPARATUS
(FR) APPAREIL DE SOURCE DE LUMIÈRE
(JA) 光源装置
要約
(EN)
In order to provide a light source apparatus capable of uniformizing, in the work transfer direction, a cumulative quantity of light that a workpiece receives while the workpiece is transferred, a light source apparatus (100) is provided, said light source apparatus radiating light to the workpiece relatively moving in the fixed direction. The light source apparatus is provided with: a plurality of light source units (4), which are respectively provided with LEDs (1) and supporting bodies (2) that support the LEDs (1); and a chassis (6) that supports each of the light source units (4). The light source units (4) are aligned with respect to the chassis (6), thereby having the light emission centers of the LEDs (1) in respective light source units (4) at equal intervals in the direction orthogonal to the moving direction of the workpiece.
(FR)
La présente invention se rapporte à un appareil de source de lumière (100) qui peut uniformiser, dans la direction de transfert de travail, une quantité cumulative de lumière qu'une pièce à travailler reçoit pendant que la pièce à travailler est transférée, ledit appareil de source de lumière émettant de la lumière vers la pièce à travailler qui se déplace relativement dans la direction fixée. L'appareil de source de lumière comprend : une pluralité d'unités de source de lumière (4) qui comprennent respectivement des diodes électroluminescentes (DEL) (1) et des corps de support (2) qui supportent les DEL (1) ; et un châssis (6) qui supporte chaque unité de source de lumière (4). Les unités de source de lumière (4) sont alignées par rapport au châssis (6), ce qui permet d'avoir les centres d'émission de lumière des DEL (1) des unités de source de lumière respectives (4) à des intervalles égaux dans la direction orthogonale à la direction de déplacement de la pièce à travailler.
(JA)
 ワークの搬送中にワークが受けた光の積算光量を、ワークの搬送方向において均一化することができる光源装置を提供するために、一定方向に相対的に移動するワークに光を照射する光源装置100であって、LED1及び前記LED1を支持する支持体2を備える複数の光源ユニット4と、前記各光源ユニット4を支持するシャーシ6とを備えてなり、前記シャーシ6に対して前記各光源ユニット4を位置決めすることによって、前記各光源ユニット4における前記LED1の発光中心が前記ワークの移動方向と直交する方向において等間隔となるように構成してある。
他の公開
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