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1. WO2015016230 - テトラアルキルアンモニウム塩水溶液の製造方法

公開番号 WO/2015/016230
公開日 05.02.2015
国際出願番号 PCT/JP2014/069973
国際出願日 29.07.2014
IPC
C02F 1/42 2006.01
C化学;冶金
02水,廃水,下水または汚泥の処理
F水,廃水,下水または汚泥の処理
1水,廃水または下水の処理
42イオン交換によるもの
B01J 49/00 2006.01
B処理操作;運輸
01物理的または化学的方法または装置一般
J化学的または物理的方法,例.触媒またはコロイド化学;それらの関連装置
49イオン交換体の再生または再活性化;そのための装置
C07C 209/84 2006.01
C化学;冶金
07有機化学
C非環式化合物または炭素環式化合物
209炭素骨格に結合しているアミノ基を含有する化合物の製造
82精製;分離;安定化;添加剤の使用
84精製
C07C 211/63 2006.01
C化学;冶金
07有機化学
C非環式化合物または炭素環式化合物
211炭素骨格に結合しているアミノ基を含有する化合物
624級アンモニウム化合物
63非環式炭素原子に結合している4級窒素原子をもつもの
CPC
B01J 39/04
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
39Cation exchange; Use of material as cation exchangers; Treatment of material for improving the cation exchange properties
04Processes using organic exchangers
B01J 47/02
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
47Ion-exchange processes in general; Apparatus therefor
02Column or bed processes
B01J 49/06
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
49Regeneration or reactivation of ion-exchangers; Apparatus therefor
05of fixed beds
06containing cationic exchangers
B01J 49/60
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
49Regeneration or reactivation of ion-exchangers; Apparatus therefor
60Cleaning or rinsing ion-exchange beds
出願人
  • 株式会社トクヤマ TOKUYAMA CORPORATION [JP/JP]; 山口県周南市御影町1番1号 1-1, Mikage-cho, Shunan-shi, Yamaguchi 7458648, JP
発明者
  • 渡邉 淳 WATANABE, Jun; JP
  • 梅津 直幸 UMEZU, Naoyuki; JP
  • 山下 喜文 YAMASHITA, Yoshifumi; JP
代理人
  • 山本 典輝 YAMAMOTO, Noriaki; JP
優先権情報
2013-15822930.07.2013JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) PREPARATION METHOD OF AQUEOUS TETRAALKYL AMMONIUM SALT SOLUTION
(FR) PROCÉDÉ DE PRÉPARATION DE SOLUTION AQUEUSE DE SEL D'AMMONIUM TÉTRA-ALKYLE
(JA) テトラアルキルアンモニウム塩水溶液の製造方法
要約
(EN)
This method of preparing an aqueous tetraalkyl ammonium salt solution from a photoresist development waste solution involves an adsorption step for adsorbing tetraalkyl ammonium ions in a cation exchange resin by passing a photoresist development waste liquid containing tetraalkyl ammonium hydroxide through a packed column filled with a hydrogen ion-type cation exchange resin, and an elution step for eluting, as an aqueous solution of tetraalkyl ammonium salt, the tetraalkyl ammonium ions adsorbed in the adsorption step. In the adsorption step, a physical property value of the effluent discharged from the packed column is measured, and when said physical property value changes to the prescribed threshold or greater, the flow of the photoresist waste solution is temporarily interrupted and a backwash step is carried out in which the cation exchange resin in the packed column is backwashed, and thereafter, the passage of the photoresist development waste solution to the packed column is restarted.
(FR)
Cette invention concerne un procédé de préparation d'une solution aqueuse de sel d'ammonium tétra-alkyle à partir d'une solution résiduaire de développement de photoréserve, lequel procédé comprend une étape d'adsorption destinée à adsorber des ions d'ammonium tétra-alkyle dans une résine échangeuse de cations en faisant passer un liquide résiduaire de développement de photoréserve contenant un hydroxyde d'ammonium tétra-alkyle dans une colonne garnie remplie d'une résine échangeuse de cations de type ions d'hydrogène, et une étape d'élution pour éluer, en tant que solution aqueuse du sel d'ammonium tétra-alkyle, les ions d'ammonium tétra-alkyle adsorbés à l'étape d'adsorption. Dans l'étape d'adsorption, une valeur des propriétés physiques de l'effluent évacué de la colonne garnie est mesurée, et lorsque ladite valeur des propriétés physiques passe au seuil prédéfini ou au seuil supérieur, l'écoulement de la solution résiduaire de photoréserve est provisoirement interrompu et une étape de lavage à contre-courant est effectuée au cours de laquelle la résine échangeuse de cations de la colonne garnie est lavée à contre-courant, et ensuite, on fait passer à nouveau la solution résiduaire de développement de photoréserve dans la colonne garnie.
(JA)
 フォトレジスト現像廃液からテトラアルキルアンモニウム塩水溶液を製造する方法であって、水素イオン型の陽イオン交換樹脂が充填された充填塔に、テトラアルキルアンモニウム水酸化物を含有するフォトレジスト現像廃液を通液することにより、陽イオン交換樹脂にテトラアルキルアンモニウムイオンを吸着させる吸着工程と、吸着工程において吸着されたテトラアルキルアンモニウムイオンをテトラアルキルアンモニウム塩の水溶液として溶離する溶離工程とを含み、吸着工程において、充填塔から排出される排出液の物性値を測定するとともに、該物性値が所定の閾値以上に変化した時点で、フォトレジスト現像廃液の通液を一旦中断し、充填塔中の陽イオン交換樹脂を逆洗する逆洗工程を行い、その後充填塔へのフォトレジスト現像廃液の通液を再開する、テトラアルキルアンモニウム塩水溶液の製造方法。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報