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1. WO2015016033 - 基板処理装置、基板処理方法、および基板処理システム

公開番号 WO/2015/016033
公開日 05.02.2015
国際出願番号 PCT/JP2014/068467
国際出願日 10.07.2014
IPC
H01L 21/02 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
G05B 19/418 2006.01
G物理学
05制御;調整
B制御系または調整系一般;このような系の機能要素;このような系または要素の監視または試験装置
19プログラム制御系
02電気式
418総合的工場管理,すなわち,複数の機械の集中管理,例.直接または分散数値制御(DNC),フレキシブルマニュファクチャリングシステム(FMS),インテグレーテッドマニュファクチャリングシステム(IMS),コンピュータインテグレーテッドマニュファクチャリング(CIM)
H01L 21/677 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
CPC
G05B 19/402
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
19Programme-control systems
02electric
18Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
402characterised by control arrangements for positioning, e.g. centring a tool relative to a hole in the workpiece, additional detection means to correct position
G05B 19/41815
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
19Programme-control systems
02electric
418Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS], computer integrated manufacturing [CIM]
41815characterised by the cooperation between machine tools, manipulators and conveyor or other workpiece supply system, workcell
G05B 19/4189
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
19Programme-control systems
02electric
418Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS], computer integrated manufacturing [CIM]
4189characterised by the transport system
G05B 2219/40066
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
2219Program-control systems
30Nc systems
40Robotics, robotics mapping to robotics vision
40066Stack and align identical layers, laminates, electronic substrate layers
G05B 2219/45031
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
2219Program-control systems
30Nc systems
45Nc applications
45031Manufacturing semiconductor wafers
G05B 2219/45054
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
2219Program-control systems
30Nc systems
45Nc applications
45054Handling, conveyor
出願人
  • 株式会社SCREENホールディングス SCREEN HOLDINGS CO., LTD. [JP/JP]; 京都府京都市上京区堀川通寺之内上る4丁目天神北町1番地の1 1-1, Tenjinkita-machi, Teranouchi-agaru 4-chome, Horikawa-dori, Kamigyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6028585, JP
発明者
  • 越田 隆 KOSHIDA, Takashi; JP
代理人
  • 稲岡 耕作 INAOKA, Kosaku; JP
優先権情報
2013-15694629.07.2013JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) BOARD PROCESSING APPARATUS, BOARD PROCESSING METHOD, AND BOARD PROCESSING SYSTEM
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT DE CARTE, PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE CARTE ET SYSTÈME DE TRAITEMENT DE CARTE
(JA) 基板処理装置、基板処理方法、および基板処理システム
要約
(EN)
A second control device of a second board processing apparatus generates a virtual carrier, thereby storing position information of a board, which is to be carried into the second board processing apparatus directly via a carry-in opening, before the board is carried into the second board processing apparatus. Then, before the board is carried into the second board processing apparatus, the second control device then creates, on the basis of previously stored position information of the board outside the second board processing apparatus, a second plan to carry the board, which is to be carried into the second board processing apparatus directly via the carry-in opening, into the second board processing apparatus from the outside of the second board processing apparatus.
(FR)
Selon la présente invention, un second dispositif de commande d'un second appareil de traitement de carte génère un support virtuel, ce qui permet de stocker des informations de position d'une carte, qui doit être transportée dans le second appareil de traitement de carte directement par l'intermédiaire d'une ouverture d'introduction avant que la carte ne soit introduite dans le second appareil de traitement de carte. Ensuite, avant que la carte ne soit introduite dans le second appareil de traitement de carte, le second dispositif de commande crée ensuite, sur la base des informations de position stockées précédemment de la carte à l'extérieur du second appareil de traitement de carte, un second plan pour supporter la carte qui doit être introduite dans le second appareil de traitement de carte directement par l'intermédiaire de l'ouverture d'introduction, dans le second appareil de traitement de carte depuis l'extérieur du second appareil de traitement de carte.
(JA)
第2基板処理装置の第2制御装置は、仮想キャリアを生成することにより、直接搬入口を介して第2基板処理装置に搬入される基板の位置情報を当該基板が第2基板処理装置に搬入される前に記憶する。そして、第2制御装置は、直接搬入口を介して第2基板処理装置に搬入される基板を第2基板処理装置の外部から第2基板処理装置の内部に搬送する第2計画を、予め記憶した第2基板処理装置の外での基板の位置情報に基づいて当該基板が第2基板処理装置に搬入される前に作成する。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報