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1. WO2015016019 - X線発生用ターゲット及びX線発生装置

公開番号 WO/2015/016019
公開日 05.02.2015
国際出願番号 PCT/JP2014/068204
国際出願日 08.07.2014
IPC
H01J 35/08 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
35X線管
02細部
04電極
08陽極;対陰極
H01J 35/14 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
35X線管
02細部
14陰極線を集中,集束または指向する装置
CPC
H01J 2235/086
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2235X-ray tubes
08Targets (anodes) and X-ray converters
086Target geometry
H01J 35/08
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
35X-ray tubes
02Details
04Electrodes ; ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
08Anodes; Anti cathodes
H01J 35/116
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
35X-ray tubes
02Details
04Electrodes ; ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
08Anodes; Anti cathodes
112Non-rotating anodes
116Transmissive anodes
H01J 35/14
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
35X-ray tubes
02Details
14Arrangements for concentrating, focusing, or directing the cathode ray
出願人
  • 東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 東京都港区赤坂五丁目3番1号 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325, JP
発明者
  • 山西 良樹 YAMANISHI, Yoshiki; JP
  • 門沢 克治 KADOSAWA, Katsuji; JP
代理人
  • 酒井 宏明 SAKAI, Hiroaki; JP
優先権情報
2013-15813030.07.2013JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) TARGET FOR X-RAY GENERATION AND X-RAY GENERATION DEVICE
(FR) CIBLE POUR GÉNÉRATION DE RAYONS X ET DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE RAYONS X
(JA) X線発生用ターゲット及びX線発生装置
要約
(EN)
The purpose of the present invention is to provide a target for x-ray generation for causing x-rays having different resolutions to be generated. Provided is a target for x-ray generation that is characterized by comprising the following: a substrate (1); a first x-ray target section (10-1) provided on the upper surface of the substrate (1); and second x-ray target sections (10-2) provided on the upper surface of the substrate (1) at locations that surround the first x-ray target section (10-1) and so as to be spaced apart from the edges of the first x-ray target section (10-1).
(FR)
La présente invention a pour objet de réaliser une cible pour la génération de rayons X destinée à provoquer la génération de rayons X ayant différentes résolutions. L'invention réalise à cet effet une cible pour génération de rayons X qui est caractérisée en ce qu'elle comprend les éléments suivants : un substrat (1); une première section de cible de rayons X (10-1) réalisée sur la surface supérieure du substrat (1); et des deuxièmes sections de cible de rayons (10-2) réalisées sur la surface supérieure du substrat (1) à des endroits qui entourent la première section de cible de rayons X (10-1) et de manière à être espacées de bords de la première section de cible de rayons X (10-1).
(JA)
異なる解像度を示すX線を発生させるX線発生用ターゲットを提供することを目的とする。基板(1)と、前記基板(1)の上面に設けられる第1のX線ターゲット部(10-1)と、前記基板(1)の上面のうち、前記第1のX線ターゲット部(10-1)を囲む位置に、前記第1のX線ターゲット部(10-1)の外縁から間隔をおいて設けられる第2のX線ターゲット部(10-2)とを備えたことを特徴とするX線発生用ターゲット。
他の公開
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