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1. WO2015015902 - 真空ポンプ

公開番号 WO/2015/015902
公開日 05.02.2015
国際出願番号 PCT/JP2014/065154
国際出願日 06.06.2014
IPC
F04D 19/04 2006.01
F機械工学;照明;加熱;武器;爆破
04液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ
D非容積形ポンプ
19特に圧縮性流体のための軸流ポンプ
02多段ポンプ
04高真空をつくるために特に採用されるもの,例.分子ポンプ
CPC
F04D 19/00
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
19Axial-flow pumps
F04D 19/04
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
19Axial-flow pumps
02Multi-stage pumps
04specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
F04D 19/042
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
19Axial-flow pumps
02Multi-stage pumps
04specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
042Turbomolecular vacuum pumps
F04D 19/044
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
19Axial-flow pumps
02Multi-stage pumps
04specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
044Holweck-type pumps
F04D 19/046
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
19Axial-flow pumps
02Multi-stage pumps
04specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
046Combinations of two or more different types of pumps
F04D 29/384
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
29Details, component parts, or accessories
26Rotors specially for elastic fluids
32for axial flow pumps
38Blades
384characterised by form
出願人
  • エドワーズ株式会社 EDWARDS JAPAN LIMITED [JP/JP]; 千葉県八千代市吉橋1078番地1 1078-1, Yoshihashi, Yachiyo-shi Chiba 2768523, JP
発明者
  • 坂口 祐幸 SAKAGUCHI Yoshiyuki; JP
優先権情報
2013-15862931.07.2013JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) VACUUM PUMP
(FR) POMPE À VIDE
(JA) 真空ポンプ
要約
(EN)
[Problem] To provide a vacuum pump that makes it possible to efficiently heat, in a focused manner, only fixed components that constitute an exhaust-side gas channel, which need to be brought to a high temperature from the standpoint of preventing the accumulation of a reaction product, prevent the accumulation of the reaction product in the exhaust-side gas channel by heating, and improve the pump exhaust performance, without being affected by the flow rate of the discharged gas. [Solution] The vacuum pump has a rotor which is rotatably disposed on a pump base and a gas channel for guiding gas drawn in by the rotation of the rotor to an exhaust port. The vacuum pump is further provided with a heat-insulating means for insulating the fixed components that constitute the exhaust-side gas channel from other components in the entire gas channel, and a heating means for heating the fixed components insulated in this manner.
(FR)
[Problème] L'invention a pour objet de réaliser une pompe à vide qui permet de chauffer, de manière efficiente et concentrée, uniquement des composants fixes qui constituent un conduit de gaz côté évacuation et qui doivent être portés à une température élevée du point de vue de la prévention de l'accumulation d'un produit de réaction, d'empêcher par chauffage l'accumulation du produit de réaction dans le conduit de gaz côté évacuation, et d'améliorer les performances d'évacuation de la pompe, sans être affectée par le débit du gaz évacué. [Solution] La pompe à vide est dotée d'un rotor qui est guidé en rotation sur un socle de pompe et d'un conduit de gaz servant à guider du gaz aspiré par la rotation du rotor jusqu'à un orifice d'évacuation. La pompe à vide comporte en outre un moyen d'isolation thermique servant à isoler les composants fixes qui constituent le conduit de gaz côté évacuation d'autres composants dans l'ensemble du conduit de gaz, et un moyen de chauffage servant à chauffer les composants fixes ainsi isolés.
(JA)
【課題】排気するガス流量の影響を受けることなく、生成物堆積防止の観点から高温化が必要な排気側ガス流路の固定部品だけを集中的に効率よく加熱すること、その加熱による排気側ガス流路での生成物の堆積を防止すること、及び、ポンプ排気性能の向上を図ることを可能とした真空ポンプを提供することである。【解決手段】真空ポンプは、ポンプベース上に回転可能に配置されたロータと、ロータの回転により吸気したガスを排気口に導くガス流路と、を有し、更に、ガス流路全体のうち排気側ガス流路を構成する固定部品をそれ以外の部品から断熱する断熱手段と、そのように断熱された固定部品を加熱する加熱手段と、を備えている。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報