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1. WO2015015853 - 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置の操作表示方法

公開番号 WO/2015/015853
公開日 05.02.2015
国際出願番号 PCT/JP2014/062104
国際出願日 01.05.2014
IPC
H01J 37/24 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02細部
24管の特定用途に使用されず,かつ他のどの分類にも属しない回路装置
CPC
H01J 37/24
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
24Circuit arrangements not adapted to a particular application of the tube and not otherwise provided for
H01J 37/244
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
244Detectors; Associated components or circuits therefor
出願人
  • 株式会社日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
発明者
  • 海老根 裕太 EBINE Yuta; JP
  • 安藤 徹 ANDO Tohru; JP
  • 西村 雅子 NISHIMURA Masako; JP
  • 渡邉 俊哉 WATANABE Shunya; JP
  • 許斐 麻美 KONOMI Mami; JP
  • 小西 弥生 KONISHI Yayoi; JP
  • 牛尾 奈緒子 USHIO Naoko; JP
  • 玉山 尚太朗 TAMAYAMA Shotaro; JP
代理人
  • 特許業務法人開知国際特許事務所 KAICHI IP; 東京都中央区日本橋本町三丁目4番1号 4-1, Nihonbashi-honcho 3-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030023, JP
優先権情報
2013-15933731.07.2013JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE, AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE OPERATION DISPLAY METHOD
(FR) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES ET PROCÉDÉ D'AFFICHAGE DU FONCTIONNEMENT DU DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置の操作表示方法
要約
(EN)
The present invention achieves a charged particle beam device with which even a novice operator can comprehend the flow of observation operations, and a series of observation operations can be simply carried out. Provided is the charged particle beam device having an image display device for displaying a sample image, wherein the following regions are displayed on an image display device in order from top to bottom: a first operation region (212) in which a sample image display-start button is disposed; a second operation region (213) in which a sample image observation magnification setting button is disposed; a third operation region (214) in which a sample image automatic brightness adjusting button, and the like, are disposed; a fourth operation region (215) in which a button for increasing the charged particle beam scanning speed, and the like, are disposed; and a fifth operation region (216) in which a button for saving the sample image to a storage device is disposed.
(FR)
La présente invention concerne un dispositif à faisceau de particules chargées dont la séquence des opérations d'observation peut être comprise même d'un opérateur novice et avec lequel une série d'opérations d'observation peut être réalisée en toute simplicité. Le dispositif à faisceau de particules chargées selon l'invention comprend un dispositif d'affichage d'image destiné à afficher l'image d'un échantillon, les régions suivantes étant affichées sur un dispositif d'affichage d'image, dans l'ordre de haut en bas : une première région d'opération (212) dans laquelle se trouve un bouton de début d'affichage d'image d'échantillon; une deuxième région d'opération (213) dans laquelle se trouve un bouton de réglage du grossissement d'observation d'image d'échantillon; une troisième région d'opération (214) dans laquelle se trouvent des boutons de réglage automatique de la luminosité d'image d'échantillon et similaires; une quatrième région d'opération (215) dans laquelle se trouve un bouton servant à augmenter la vitesse de balayage du faisceau de particules chargées et similaires; et une cinquième région d'opération (216) dans laquelle se trouve un bouton pour enregistrer l'image d'échantillon sur un dispositif de stockage.
(JA)
操作初心者でも観察操作の流れをつかむことができ、一連の観察操作を簡単に行える荷電粒子線装置を実現する。試料画像を表示する画像表示装置を備えた荷電粒子線装置において、試料画像表示開始ボタンが配置される第1操作領域(212)と、試料画像観察倍率設定ボタンが配置される第2操作領域(213)と、試料画像の明るさ自動調整ボタンなどが配置される第3操作領域(214)と、荷電粒子線走査速度を早くするボタンなどが配置される第4操作領域(215)と、試料画像の記憶装置への保存ボタンが配置される第5操作領域(216)とを、順に上から下に画像表示装置に表示させる。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報