処理中

しばらくお待ちください...

設定

設定

1. WO2015015819 - 熱式流量計

公開番号 WO/2015/015819
公開日 05.02.2015
国際出願番号 PCT/JP2014/052602
国際出願日 05.02.2014
IPC
G01F 1/696 2006.01
G物理学
01測定;試験
F体積,体積流量,質量流量,または液位の測定;体積による測定
1流体が連続流で計器を通過するときの流体もしくは流動性固体の体積流量または質量流量の測定
68熱的効果を使用するもの
696そのための回路,例.定電流流量メーター
G01P 5/12 2006.01
G物理学
01測定;試験
P直線速度または角速度,加速度,減速度または衝撃の測定;運動の有無の指示;運動の方向の指示
5流体,例.空気流,の速度の測定;流体に対する物体,例.船舶の,航空機の,の相対速度の測定
10温度変量の測定によるもの
12加熱導体の抵抗変化を利用するもの
CPC
G01F 1/6842
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
1Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through the meter in a continuous flow
68by using thermal effects
684Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
6842with means for influencing the fluid flow
G01F 1/6845
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
1Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through the meter in a continuous flow
68by using thermal effects
684Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
6845Micromachined devices
G01F 1/692
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
1Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through the meter in a continuous flow
68by using thermal effects
684Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
688using a particular type of heating, cooling or sensing element
69of resistive type
692Thin-film arrangements
G01F 1/6965
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
1Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through the meter in a continuous flow
68by using thermal effects
696Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
6965comprising means to store calibration data for flow signal calculation or correction
G01P 5/12
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
5Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft
10by measuring thermal variables
12using variation of resistance of a heated conductor
出願人
  • 日立オートモティブシステムズ株式会社 HITACHI AUTOMOTIVE SYSTEMS, LTD. [JP/JP]; 茨城県ひたちなか市高場2520番地 2520, Takaba, Hitachinaka-shi, Ibaraki 3128503, JP
発明者
  • 佐藤 亮 SATO Ryo; JP
代理人
  • 井上 学 INOUE Manabu; 東京都千代田区丸の内一丁目6番1号 株式会社日立製作所内 c/o HITACHI, LTD., 6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008220, JP
優先権情報
2013-16082001.08.2013JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) THERMAL TYPE FLOW METER
(FR) DÉBITMÈTRE DE TYPE THERMIQUE
(JA) 熱式流量計
要約
(EN)
In order to provide a thermal type flow meter with which variability in measurement accuracy can be minimized, even in cases of strain caused by thermal stress in an integrated circuit used to calculate the flow rate of a measured gas, this thermal type flow meter is provided with a circuit package (20) in which are mounted a flow rate detection element (24) and an integrated circuit (23) for calculating the flow rate of a measured gas, on the basis of an output signal from the flow rate detection element (24). A casing (30) in which the circuit package (20) is housed and in which the auxiliary passage is formed is provided. The integrated circuit (23) is provided with an oscillator (64) having a resistor (64a). A strain level detection unit (66) for detecting strain produced in the resistor (64a) of the oscillator (64) is situated adjacently to the resistor (64a). The integrated circuit (23) is further provided with an output value correction unit (63b) for correcting the output values of the oscillator (64) on the basis of the level of strain detected by the strain level detection unit (23).
(FR)
L'invention porte sur un débitmètre de type thermique avec lequel la variabilité de la précision de la mesure peut être réduite à un minimum, même dans des cas de contrainte provoquée par une contrainte thermique dans un circuit intégré utilisé pour calculer le débit d'un gaz mesuré, ce débitmètre de type thermique étant pourvu d'un boîtier de circuit (20) dans lequel sont montés un élément de détection de débit (24) et un circuit intégré (23) afin de calculer le débit d'un gaz mesuré, sur la base d'un signal de sortie provenant de l'élément de détection de débit (24). Un boîtier (30), dans lequel le boîtier de circuit (20) est logé et dans lequel le passage auxiliaire est formé, est utilisé. Le circuit intégré (23) est pourvu d'un oscillateur (64) ayant une résistance (64a). Une unité de détection de niveau de déformation (66), pour la détection de la déformation produite dans la résistance (64a) de l'oscillateur (64), est située à proximité de la résistance (64a). Le circuit intégré (23) est en outre pourvu d'une unité de correction de valeurs de sortie (63b) afin de corriger les valeurs de sortie de l'oscillateur (64) sur la base du niveau de déformation détectée par l'unité de détection de niveau de déformation (66).
(JA)
 被計測気体の流量を演算する集積回路に熱応力が起因した歪が発生した場合であっても、計測精度のバラつきを抑えることができる熱式流量計を提供するために、熱式流量計は、流量検出素子24と、流量検出素子24からの出力信号に基づいて被計測気体の流量を演算する集積回路23と、が搭載された回路パッケージ20を備えている。回路パッケージ20を収納するとともに前記副通路が形成されたケーシング30と、を備えている。集積回路23は、抵抗体64aを有した発振器64を備えている。発振器64の抵抗体64aに隣接した位置には、抵抗体64aに発生する歪量を検出する歪量検出部66が配置されている。集積回路23は、歪量検出部23からの検出された歪量に基づいて、発振器64の出力値を補正する出力値補正部63bをさらに備える。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報