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1. WO2015015817 - 保護膜形成フィルム、保護膜形成用シートおよび検査方法

公開番号 WO/2015/015817
公開日 05.02.2015
国際出願番号 PCT/JP2014/052111
国際出願日 30.01.2014
IPC
H01L 21/301 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
04少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30H01L21/20~H01L21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
301半導体本体を別個の部品に細分割するため,例.分離する
B32B 27/00 2006.01
B処理操作;運輸
32積層体
B積層体,すなわち平らなまたは平らでない形状,例.細胞状またはハニカム状,の層から組立てられた製品
27本質的に合成樹脂からなる積層体
C08J 5/18 2006.01
C化学;冶金
08有機高分子化合物;その製造または化学的加工;それに基づく組成物
J仕上げ;一般的混合方法;サブクラスC08B,C08C,C08F,C08GまたはC08Hに包含されない後処理(プラスチックの加工,例.成形B29)
5高分子物質を含む成形品の製造
18フイルムまたはシートの製造
CPC
B32B 2255/10
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
32LAYERED PRODUCTS
BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
2255Coating on the layer surface
10on synthetic resin layer or on natural or synthetic rubber layer
B32B 2255/26
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
32LAYERED PRODUCTS
BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
2255Coating on the layer surface
26Polymeric coating
B32B 2307/40
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
32LAYERED PRODUCTS
BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
2307Properties of the layers or laminate
40having particular optical properties
B32B 2307/54
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
32LAYERED PRODUCTS
BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
2307Properties of the layers or laminate
50having particular mechanical properties
54Yield strength; Tensile strength
B32B 2307/748
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
32LAYERED PRODUCTS
BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
2307Properties of the layers or laminate
70Other properties
748Releasability
B32B 2457/14
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
32LAYERED PRODUCTS
BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
2457Electrical equipment
14Semiconductor wafers
出願人
  • リンテック株式会社 LINTEC CORPORATION [JP/JP]; 東京都板橋区本町23番23号 23-23, Honcho, Itabashi-ku, Tokyo 1730001, JP
発明者
  • 佐伯 尚哉 SAIKI, Naoya; JP
  • 山本 大輔 YAMAMOTO, Daisuke; JP
  • 米山 裕之 YONEYAMA, Hiroyuki; JP
  • 高野 健 TAKANO, Ken; JP
代理人
  • 志賀 正武 SHIGA, Masatake; 東京都千代田区丸の内一丁目9番2号 1-9-2, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1006620, JP
優先権情報
2013-15999731.07.2013JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) PROTECTIVE FILM-FORMING FILM, SHEET FOR PROTECTIVE FILM FORMATION, AND INSPECTION METHOD
(FR) PELLICULE FORMANT UNE PELLICULE PROTECTRICE, FEUILLE POUR LA FORMATION D'UNE PELLICULE PROTECTRICE ET PROCÉDÉ D'INSPECTION
(JA) 保護膜形成フィルム、保護膜形成用シートおよび検査方法
要約
(EN)
Provided is a sheet (2) for protective film formation, comprising: a protective film-forming film (1) characterized by having a 1,600 nm wavelength light ray transmittance of at least 25% and a 550 nm light ray transmittance of no more than 20%; and a release sheet (21) laminated on one or both surfaces of the protective film-forming film (1). As a result of said sheet (2) for protective film formation, workpieces or manufactured products obtained by machining said workpieces can be inspected for cracks present therein, and a protective film can be formed whereby grinding marks present in the workpieces or manufactured products are not visible.
(FR)
L'invention concerne une feuille (2) pour la formation d'une pellicule protectrice, comprenant : une pellicule (1) formant une pellicule protectrice caractérisée en ce qu'elle a une transmittance des rayons de lumière de longueur d'onde de 1 600 nm égale à au moins 25 % et une transmittance de rayons de lumière de longueur d'onde de 550 nm inférieure ou égale à 20 %; et une feuille de libération (21) stratifiée sur une surface ou sur les deux surfaces de la pellicule (1) formant une pellicule protectrice. Ladite feuille (2) pour la formation d'une pellicule protectrice permet d'inspecter la présence ou non de fissures dans des pièces à usiner ou produits manufacturés obtenus en usinant lesdites pièces à usiner, et de former une pellicule protectrice telle que les marques de meulage présentes dans les pièces à usiner ou les produits manufacturés ne sont pas visibles.
(JA)
 波長1600nmの光線透過率が25%以上であり、波長550nmの光線透過率が20%以下であることを特徴とする保護膜形成フィルム1と、その保護膜形成フィルム1の一方の面または両面に積層された剥離シート21とを備えた保護膜形成用シート2。かかる保護膜形成用シート2によれば、ワークまたは当該ワークを加工して得られる加工物に存在するクラック等の検査が可能であり、かつワークまたは加工物に存在する研削痕が目視によって見えない保護膜を形成することができる。
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