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1. WO2014184971 - 異物除去装置及びこれを用いた太陽電池の製造方法

公開番号 WO/2014/184971
公開日 20.11.2014
国際出願番号 PCT/JP2013/079148
国際出願日 28.10.2013
IPC
B08B 1/02 2006.01
B処理操作;運輸
08清掃
B清掃一般;汚れ防止一般
1工具,ブラシ,または類似部材の使用を含む方法による清掃
02移動作業中の清掃,例.コンベア上のウェブ,物品
CPC
B08B 1/02
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
08CLEANING
BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
1Cleaning by methods involving the use of tools, brushes, or analogous members
02Cleaning travelling work, e.g. a web, articles on a conveyor
B08B 1/04
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
08CLEANING
BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
1Cleaning by methods involving the use of tools, brushes, or analogous members
04using rotary operative members
B08B 5/043
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
08CLEANING
BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
5Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
04Cleaning by suction, with or without auxiliary action
043Cleaning travelling work
F24S 40/20
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
24HEATING; RANGES; VENTILATING
SSOLAR HEAT COLLECTORS; SOLAR HEAT SYSTEMS
40Safety or protection arrangements of solar heat collectors; Preventing malfunction of solar heat collectors
20Cleaning; Removing snow
H01L 31/02363
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
31Semiconductor devices sensitive to infra-red radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
02Details
0236Special surface textures
02363of the semiconductor body itself, e.g. textured active layers
H02S 40/10
HELECTRICITY
02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
SGENERATION OF ELECTRIC POWER BY CONVERSION OF INFRA-RED RADIATION, VISIBLE LIGHT OR ULTRAVIOLET LIGHT, e.g. USING PHOTOVOLTAIC [PV] MODULES
40Components or accessories in combination with PV modules, not provided for in groups H02S10/00 - H02S30/00
10Cleaning arrangements
出願人
  • 三菱電機株式会社 MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 中谷 光徳 NAKATANI, Mitsunori
  • 黒田 章裕 KURODA, Akihiro
  • 浅野 聡也 ASANO, Toshiya
  • 沖本 聖 OKIMOTO, Takashi
代理人
  • 酒井 宏明 SAKAI, Hiroaki
優先権情報
PCT/JP2013/06343914.05.2013JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) FOREIGN OBJECT REMOVAL DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING SOLAR CELL USING SAME
(FR) DISPOSITIF D'ÉLIMINATION D'OBJETS ÉTRANGERS ET PROCÉDÉ POUR LA PRODUCTION DE PHOTOPILE UTILISANT
(JA) 異物除去装置及びこれを用いた太陽電池の製造方法
要約
(EN)
In the present invention, a rotating brush (37) of soft hairs produced at high precision and having an outer diameter equivalent to a texture size is contacted to a solar cell (10) immediately after CVD film production by an amount corresponding to the texture size, p-n junction breakage resulting from texture chipping is avoided, and only CVD foreign objects such as foreign object microparticles (14) and foreign object coarse particles (14G) are eliminated by means of the rotational force of the rotating brush (37). As a result, it is possible to produce a solar cell without a brush material adhering to the cell surface in a manner so as to cause problems in a printing step or in a manner so as to cause scratches at the cell surface, even while eliminating CVD foreign objects that lead to a hindrance in the printing of a grid electrode having a width of 30-150 μm.
(FR)
Selon la présente invention, une brosse rotative (37) à poils souples produits avec une haute précision et ayant un diamètre externe équivalent à une taille de texture est mise en contact avec une photopile (10) immédiatement après la production d'une couche mince par CVD en une quantité correspondant à la taille de la texture, la rupture de la jonction p-n résultant de l'effritement de la texture est évitée et seuls des objets étrangers de CVD tels que des microparticules d'objets étrangers (14) et des particules grossières d'objets étrangers (14G) sont éliminés au moyen de la force de rotation de la brosse rotative (37). En conséquence, il est possible de produire une photopile sans qu'un matériau de brosse adhère à la surface de la pile d'une manière provoquant des problèmes dans une étape d'impression ou d'une manière provoquant des rayures à la surface de la pile, même avec l'élimination simultanée d'objets étrangers de CVD qui conduisent à une entrave dans l'impression d'une électrode de grille ayant une largeur de 30 à 150 μm.
(JA)
外径がテクスチャーサイズと同等な高精度に作製された柔毛の回転ブラシ(37)をCVD成膜直後の太陽電池セル(10)にテクスチャーサイズに相当する分だけ押し当てて、テクスチャー欠けによるpn接合破壊を回避し、異物微粒子(14)、異物粗大粒子(14G)などのCVD異物のみを回転ブラシ(37)の回転力で除去する。これにより、グリッド電極幅30μm~150μmの印刷に支障をきたすCVD異物を除去しながらも、セル表面にキズを付けたり、印刷工程でトラブルを引き起こすようなブラシ材をセル表面に付着させることなく太陽電池を製造することが可能となる。
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