(EN) The present invention provides a light source apparatus and method for further improving the generation efficiency of EUV light. Using an EUV light source apparatus (1), a "first state" and a "second state" are alternately achieved. In the "first state," plasma is generated inside a hollow body (20) using the energy of standing waves formed in a cavity resonator (10), and EUV light emitted by the plasma is discharged outside the cavity resonator (10). In the "second state," the standing waves and the plasma are caused to disappear. A magnetic field created by a magnet (300) is adjusted or set in accordance with environmental factors, such as the size of the hollow body (20), in a direction perpendicular to the direction of the magnetic field, such that the Larmor radius or Larmor frequency of the electrons composing the plasma is controlled.
(FR) La présente invention concerne un appareil source de lumière et un procédé permettant d'améliorer l'efficacité de génération de lumière EUV. Au moyen d'un appareil source de lumière EUV (1), un « premier état » et un « second état » sont atteints en alternance. Dans le « premier état », du plasma est généré à l'intérieur d'un corps creux (20) au moyen de l'énergie d'ondes stationnaires formées dans une cavité résonnante (10), et une lumière EUV émise par le plasma est déchargée à l'extérieur de la cavité résonnante (10). Dans le « second état », les ondes stationnaires et le plasma sont amenés à disparaître. Un champ magnétique créé par un aimant (300) est ajusté ou réglé en fonction de facteurs environnementaux, tels que la taille du corps creux (20), dans une direction perpendiculaire à la direction du champ magnétique, de sorte que le rayon de Larmor ou la fréquence de Larmor des électrons composant le plasma soit commandé.
(JA) ＥＵＶ光の発生効率のさらなる向上を図りうる光源装置および方法を提供する。 ＥＵＶ光源装置１によれば「第１状態」および「第２状態」が交互に実現される。「第１状態」において、空洞共振器１０に形成された定在波のエネルギーにより中空体２０の内部にプラズマを発生させ、当該プラズマが放出するＥＵＶ光を空洞共振器１０の外部へ放出させる。「第２状態」では、定在波およびプラズマを消失させる。プラズマを構成する電子のラーモア半径またはラーモア周波数が、磁界方向に対して垂直な方向について中空体２０のサイズ等の環境因子に応じて磁石３００による磁界が調節または設定される。
