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国際公開番号: WO/2014/171287 国際出願番号: PCT/JP2014/058891
国際公開日: 23.10.2014 国際出願日: 27.03.2014
IPC:
H01J 37/073 (2006.01) ,H01J 37/248 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02
細部
04
電極装置および放電を発生しまたは制御するための関連部品,例.電子光学装置,イオン光学装置
06
電子源;電子銃
073
電界放出,光電子放出,または2次電子放出による電子源を用いる電子銃
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02
細部
248
高電圧共給と組合わせられた構成要素
出願人: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION[JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
発明者: FUJIMURA Ichiro; JP
OBUKI Tomoharu; JP
SATO Hirofumi; JP
KOBAYASHI Daisuke; JP
代理人: HIRAKI Yusuke; Atago Green Hills MORI Tower 32F, 5-1, Atago 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1056232, JP
優先権情報:
2013-08640617.04.2013JP
2013-17879230.08.2013JP
発明の名称: (EN) CHARGED-PARTICLE-BEAM DEVICE
(FR) DISPOSITIF GÉNÉRATEUR DE FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子線装置
要約:
(EN)  A charged-particle-beam device, provided with: a field emission electron source; an extraction electrode for extracting electrons from the field emission electron source; an acceleration electrode for accelerating the electrons radiated from the field emission electron source; and a power supply unit (39) capable of supplying an extraction voltage applied between the field emission electron source and the extraction electrode, an acceleration voltage applied between the field emission electron source and the acceleration electrode, and a heating voltage for heating the field emission electron source. The power supply unit (39) is provided with a switching unit (36) for switching the upper limit value of the power supply unit (39). The power supply unit (39) controls the switching unit (36) while applying the extraction voltage and the acceleration voltage, and thereby simultaneously supplies the extraction voltage, the acceleration voltage, and the heating voltage.
(FR)  La présente invention concerne un dispositif générateur de faisceau de particules chargées, pourvu : d'une source d'électrons à émission de champ ; d'une électrode d'extraction destinée à extraire des électrons de la source d'électrons à émission de champ ; d'une électrode d'accélération destinée à accélérer les électrons rayonnant à partir de la source d'électrons à émission de champ ; et d'une unité d'alimentation électrique (39) permettant de délivrer une tension d'extraction appliquée entre la source d'électrons à émission de champ et l'électrode d'extraction, une tension d'accélération appliquée entre la source d'électrons à émission de champ et l'électrode d'accélération, et une tension de chauffe destinée à chauffer la source d'électrons à émission de champ. L'unité d'alimentation électrique (39) est pourvue d'une unité de commutation (36) destinée à commuter la valeur limite supérieure de l'unité d'alimentation électrique (39). L'unité d'alimentation électrique (39) commande l'unité de commutation (36) tout en appliquant la tension d'extraction et la tension d'accélération et délivre ainsi simultanément la tension d'extraction, la tension d'accélération et la tension de chauffe.
(JA)  荷電粒子線装置は、電界放出電子源と、前記電界放出電子源から電子を引き出すための引出電極と、前記電界放出電子源から放射された電子を加速するための加速電極と、前記電界放出電子源と前記引出電極との間に印加する引出電圧と、前記電界放出電子源と前記加速電極との間に印加する加速電圧と、前記電界放出電子源を加熱するための加熱電圧とを供給可能な電源ユニット(39)と、を備える。前記電源ユニット(39)は、前記電源ユニット(39)の上限値を切替えるための切替部(36)を備える。前記電源ユニット(39)は、前記引出電圧及び前記加速電圧を印加している間に前記切替部(36)を制御することにより、前記引出電圧と前記加速電圧と前記加熱電圧とを同時に供給する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)