WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
オプション
検索言語
語幹処理適用
並び替え:
表示件数
このアプリケーションの一部のコンテンツは現時点では利用できません。
このような状況が続く場合は、にお問い合わせくださいフィードバック & お問い合わせ
1. (WO2014157519) 円筒型スパッタリングターゲット及びその製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

国際公開番号: WO/2014/157519 国際出願番号: PCT/JP2014/058867
国際公開日: 02.10.2014 国際出願日: 27.03.2014
IPC:
C23C 14/34 (2006.01) ,B22D 13/02 (2006.01) ,C22C 9/00 (2006.01)
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
14
被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
22
被覆の方法に特徴のあるもの
34
スパッタリング
B 処理操作;運輸
22
鋳造;粉末冶金
D
金属の鋳造;同じ方法または装置による他の物質の鋳造
13
遠心鋳造;遠心力の利用による鋳造
02
縦軸のまわりに回転する鋳型中での細長い中実または中空体,例.パイプ,の製造
C 化学;冶金
22
冶金;鉄または非鉄合金;合金の処理または非鉄金属の処理
C
合金
9
銅基合金
出願人: MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION[JP/JP]; 3-2, Otemachi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008117, JP
発明者: KATO Shinji; JP
ZHANG Shoubin; JP
KOMIYAMA Shozo; JP
代理人: SHIGA Masatake; 1-9-2, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1006620, JP
優先権情報:
2013-07119529.03.2013JP
2013-24005620.11.2013JP
発明の名称: (EN) CYLINDRICAL SPUTTERING TARGET AND PROCESS FOR PRODUCING SAME
(FR) CIBLE DE PULVÉRISATION CYLINDRIQUE ET SON PROCÉDÉ DE PRODUCTION
(JA) 円筒型スパッタリングターゲット及びその製造方法
要約:
(EN) This cylindrical sputtering target is a cylindrical Cu-Ga alloy sputtering target which comprises a Cu alloy containing 15-35 at% Ga, the Cu alloy having a granular crystal structure.
(FR) L'invention concerne une cible de pulvérisation cylindrique qui est une cible de pulvérisation d'alliage Cu-Ga cylindrique qui comprend un alliage de Cu contenant 15-35 % atomique de Ga, l'alliage de Cu ayant une structure cristalline granulaire.
(JA)  この円筒型スパッタリングターゲットは、Ga:15~35原子%含有したCu合金でなり、前記Cu合金が、粒状結晶組織を有するCu-Ga合金円筒型スパッタリングターゲットである。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)