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1. (WO2014156619) 静電チャック装置

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2014/156619    国際出願番号:    PCT/JP2014/056364
国際公開日: 02.10.2014 国際出願日: 11.03.2014
H01L 21/683 (2006.01), B23Q 3/15 (2006.01), H02N 13/00 (2006.01)
出願人: SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD. [JP/JP]; 6-28, Rokuban-cho, Chiyoda-ku, Tokyo 1028465 (JP)
発明者: MORIYA Yoshiaki; (JP).
ANDO Kazuto; (JP)
代理人: SHIGA Masatake; 1-9-2, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1006620 (JP)
2013-071739 29.03.2013 JP
(JA) 静電チャック装置
要約: front page image
(EN)Provided is an electrostatic chuck device not only capable of suppressing a source of particles to more prevent particles from being attached to the rear surface of a plate-like sample, but also capable of improving the effect of cooling the plate-like sample with a cooling gas. The electrostatic chuck device is equipped with an electrostatic chuck unit having a ceramic plate-like body (2), the upper surface (2a) of which is used as a mounting surface on which a wafer is mounted and an electrostatic adsorption electrode equipped inside the ceramic plate-like body (2) or on the rear surface thereof. In the electrostatic chuck device, a plurality of protrusions (11) are formed on the upper surface (2a), and a plurality of tiny protrusions (13) are formed in a region (12) excluding the protrusions (11) formed on the upper surface (2a).
(FR)L'invention porte sur un dispositif de mandrin électrostatique capable non seulement de supprimer une source de particules pour empêcher davantage des particules d'être fixées à la surface arrière d'un échantillon en forme de plaque, mais également capable d'améliorer l'effet de refroidissement de l'échantillon en forme de plaque avec un gaz de refroidissement. Le dispositif de mandrin électrostatique comporte une unité de mandrin électrostatique ayant un corps en forme de plaque de céramique (2), la surface supérieure (2a) de celui-ci étant utilisée en tant que surface de montage sur laquelle une tranche de semi-conducteur est montée et une électrode d'adsorption électrostatique équipée à l'intérieur du corps en forme de plaque de céramique (2) ou sur la surface arrière de celui-ci. Dans le dispositif de mandrin électrostatique, une pluralité de saillies (11) sont formées sur la surface supérieure (2a), et une pluralité de saillies minuscules (13) sont formées dans une région (12) ne comprenant pas les saillies (11) formées sur la surface supérieure (2a).
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)