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1. (WO2014156247) 熱アシスト磁気ヘッド検査装置及び熱アシスト磁気ヘッド検査方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

国際公開番号: WO/2014/156247 国際出願番号: PCT/JP2014/051278
国際公開日: 02.10.2014 国際出願日: 22.01.2014
IPC:
G11B 5/455 (2006.01) ,G01Q 30/06 (2010.01) ,G11B 5/31 (2006.01)
出願人: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION[JP/JP]; 24-14, Nishi-Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
発明者: ISHII Shinjiro; JP
MURAKAMI Shinichiro; JP
代理人: POLAIRE I.P.C.; 7-1, Hatchobori 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040032, JP
優先権情報:
2013-06171825.03.2013JP
2013-20345730.09.2013JP
発明の名称: (EN) HEAT-ASSISTED MAGNETIC HEAD INSPECTION DEVICE AND HEAT-ASSISTED MAGNETIC HEAD INSPECTION METHOD
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION DE TÊTE MAGNÉTIQUE THERMO-ASSISTÉE ET PROCÉDÉ D'INSPECTION DE TÊTE MAGNÉTIQUE THERMO-ASSISTÉE
(JA) 熱アシスト磁気ヘッド検査装置及び熱アシスト磁気ヘッド検査方法
要約: front page image
(EN) A heat-assisted magnetic head inspection device (1) comprises a head magnetic field detection system (36, 37) that measures a magnetic field generated by a heat-assisted magnetic head (11) from the amount of displacement of a cantilever (10), a near field light detection system (20) that measures the near field light generated by the heat-assisted magnetic head (11) from the scattered light issued at the cantilever position, an optical system stage (2) on which the near field light detection system is mounted and moved in two dimensions, and an image display unit that displays the positional relationship of the cantilever and the magnetic head by imaging with a camera (35). When the cantilever is replaced, a control unit (4) references the image display unit and calculates the amount of positional shift due to the replacement of the cantilever, and then moves the optical system stage (2) by the calculated amount of positional shift. Thus, when measuring the magnetic field and the near field light generated by the heat-assisted magnetic head, the positional shift is automatically adjusted even if positional shift occurs during cantilever replacement.
(FR) L'invention porte sur un dispositif d'inspection de tête magnétique thermo-assistée (1) qui comprend un système de détection de champ magnétique de tête (36, 37) qui mesure un champ magnétique généré par une tête magnétique thermo-assistée (11) à partir de la quantité de déplacement d'un cantilever (10), un système de détection de lumière en champ proche (20) qui mesure la lumière en champ proche générée par la tête magnétique thermo-assistée (11) à partir de la lumière diffusée émise à la position du cantilever, une platine de système optique (2) sur laquelle le système de détection de lumière en champ proche est monté et déplacé en deux dimensions, et une unité d'affichage d'image qui affiche la relation de position du cantilever et de la tête magnétique par imagerie avec une caméra (35). Quand le cantilever est remplacé, une unité de commande (4) se rapporte à l'unité d'affichage d'image et calcule la quantité de décalage de position due au remplacement du cantilever, et déplace ensuite la platine de système optique (2) de la quantité de décalage de position calculée. Ainsi, quand le champ magnétique et la lumière en champ proche générés par la tête magnétique thermo-assistée sont mesurés, le décalage de position est automatiquement ajusté même si un décalage de position survient durant un remplacement du cantilever.
(JA)  熱アシスト磁気ヘッド検査装置1は、熱アシスト磁気ヘッド11が発生する磁界をカンチレバー10の変位量から測定するヘッド磁界検出系36,37と、熱アシスト磁気ヘッド11が発生する近接場光をカンチレバー位置で生じる散乱光から測定する近接場光検出系20と、近接場光検出系を搭載し2次元方向に移動させる光学系ステージ2と、カンチレバーと磁気ヘッドの位置関係をカメラ35により撮像して表示する画像表示部を備える。カンチレバーを交換したとき、制御部4は画像表示部を参照してカンチレバーの交換による位置ずれ量を算出し、算出した位置ずれ量だけ光学系ステージ2を移動させる。これにより、熱アシスト磁気ヘッドで発生する磁界と近接場光とを測定する場合において、カンチレバー交換時に位置ずれが生じてもこれを自動的に調整する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)